陶瓷电容真空计 CCMT-D 系列
CCMT-D 系列是一种电容膜片真空计，它通过检测当陶瓷（氧化铝）膜片因气体压力变化而产生的静电电容来测量压力。
特点
- 耐腐蚀陶瓷传感器
- 优异的长期信号稳定性
- 可实现不依赖气体种类的全压力测量
- 缩短预热时间
- 温度补偿
- 传感器具备防污染保护
- 一键零点校准
- 精确的线性输出（DC 0～10V）
- 宽范围电源电压（DC14～30V）
应用
- 真空熔炼或真空热处理
- 薄膜沉积系统
- 减压炉
- 气体交换或气体封装等
- 光伏（PV）、平板显示器（FPD）制造设备
技术参数
| 型号 | CCMT-D | ||
| 满量程 | CCMT-1000D | 133kPa (1×103 Torr, 1.33×103 mbar) F.S. | |
| CCMT-100D | 13.3kPa (1×102 Torr, 1.33×102 mbar) F.S. | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa (10 Torr, 13.3 mbar) F.S. | ||
| CCMT-1D | 133Pa (1 Torr, 1.33 mbar) F.S. | ||
| 分辨率 | 满量程的 0.003% | ||
| 精度 *1 | ±0.2% ± 温度系数，相对于显示值（零点调整） | ||
| 温度系数 | 零电压 | 0.005% F.S. /?C | |
| 跨度电压 | 0.01% R /?C | ||
| 使用温度范围 | 10~ 50?C (50 ~ 122?F) | ||
| 响应速度 | ≤30 ms | ||
| 与气体接触部分材料 | Al₂O₃、Vacon70 *2、SUS316 *3、玻璃陶瓷钎料、Ag Ti Cu 硬钎料 | ||
| 输入电源 | DC14～30V, 1W | ||
| 输出 | DC 0 ~ 10V F.S. | ||
| 重量 | 329g | ||
| 尺寸 | 55mm×117mm | ||
| 温度补偿 | 内置温度补偿电路 | ||
| 电气连接器 | D-sub 15 针公头（No.4-40，DNC 螺钉） | ||
*1：在 25°C (77°F) 环境工作温度下运行 2 小时后，不考虑温度影响的非线性、滞后性、重复性。
*2：18% Cr，10% Ni，3% Mo，69% Fe
*3：28% Ni，23% Co，49% Fe
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