BỘ ĐO ÁP SUẤT DÒNG CCMT-D

Home / Sản phẩm / Cấu kiện chân không / Đồng hồ đo chân không / BỘ ĐO ÁP SUẤT DÒNG CCMT-D

Dòng CCMT-D là áp kế điện dung, phát hiện điện dung tĩnh xảy ra khi màng chắn làm bằng gốm (alumin) bị biến dạng do thay đổi áp suất khí.

ĐẶC ĐIỂM

Cảm biến gốm chống ăn mòn
Tín hiệu dài hạn cực kỳ ổn định
Có thể đo toàn bộ áp suất không phụ thuộc vào loại khí
Rút ngắn thời gian khởi động
Sự cân bằng nhiệt độ
Cảm biến được bảo vệ chống nhiễm bẩn
Nút ấn điều chỉnh điểm 0
Đầu ra tuyến tính chính xác (DC 0 đến 10V)

ỨNG DỤNG

Thiêu kết hoặc xử lý nhiệt chân không
Hệ thống lắng đọng màng mỏng
Lò giảm áp
Trao đổi khí hoặc nén khí, v.v.
Thiết bị sản xuất FPD, PV

BẢNG TIÊU CHUẨN

Model		CCMT-D
Range full scale	CCMT-1000D	133kPa (1×10³ Torr, 1.33×10³ mbar) F.S.
	CCMT-100D	13.3kPa (1×10² Torr, 1.33×10² mbar) F.S.
	CCMT-10D	1.33kPa (10 Torr, 13.3 mbar) F.S.
	CCMT-1D	133Pa (1 Torr, 1.33 mbar) F.S.
Resolution		0.003% of full scale
Accuracy *1		±0.2％±temperature coefficient relative to display value (The value indicates accuracy zero point adjustment)
Temperature coefficient	Zero voltage	0.005% F.S. /?C
	Span voltage	0.01% R /?C
Operating temperature range		10 to 50?C (50 to 122?F)
Response rate		30ms or less
Material of gas contacting sections		Al₂O₃、Vacon70 2、SUS316 3 , glass ceramics solder, Ag Ti Cu hard solder
Input power		DC14～30V, 1W
Output		DC 0 to 10V F.S.
weight		329g
Dimensions		55mm×117mm
Temperature compensation		Internal temperature compensation circuit
Electrical connector		D-sub 15-pin male (No.4-40, DNC screw)

* 1 ： Không tuyến tính, độ trễ, độ lặp lại ở nhiệt độ môi trường hoạt động 25 ° C (77 ° C) mà không ảnh hưởng nhiệt độ sau 2 giờ hoạt động

* 2 ： 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

* 3 ： 28% Ni, 23% Co, 49% Fe