摆动阀 VFR 系列
ULVAC 的真空阀门是基于在真空领域丰富的技术和经验开发的。 我们提供多种产品，可满足从大气压到超高真空的各种需求。
特点
- 由于 ULVAC 独特的差压机构，ULVAC VFR 摆动阀在正常运行条件下可最大限度地减少颗粒、阀门磨损和振动。
- 阀体外壳可轻松拆卸，无需将阀门从真空系统或泵上移除。拆下阀体外壳后，只需拧下一颗螺栓即可取出阀板，从而方便维护。
- ULVAC VFR 系列阀门可安装在真空系统中的任意位置。其安装角度可自由旋转，灵活度达 360 度。
应用
大型显示器制造系统
OLED 制造系统
其他真空系统中的主阀和闸阀
阀体外壳可轻松拆卸，无需将阀门从真空系统或泵上移除。拆下阀体外壳后，只需拧下一颗螺栓即可取出阀板，从而方便维护。
ULVAC VFR 系列阀门可安装在真空系统中的任意位置。其安装角度可自由旋转，灵活度达 360 度。
技术参数
| 型号 | VFR-400 | VFR-500 | |
| 公共接口直径 | Φ400mm | Φ500mm | |
| 法兰规格 (等同 JIS B2290) | VF400 | VF500 | |
| 开关规格 | 2 个位置 | ||
| 开关操作原理 | 气动 | ||
| 开关时间 | 8sec | 12sec | |
| 阀板密封 | 可承受反压 | ||
| 开启导通量 | 50000L/s | 90000L/s | |
| 压力范围 | 1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs) | ||
| 允许烘烤温度 (停止时) | 阀体 : < 120℃ 气缸: < 80℃ 阀体 : < 248F 气缸 : < 176F | ||
| 允许环境温度 | 10 ~ 80℃ 50 ~ 176F | ||
| 允许气体温度 | 10 ~ 80℃ 50 ~ 176F | ||
| 压缩空气压力 | 0.50 ~ 0.70MPaG 72.5 ~ 101.5psi 5.0 ~ 7.0bar | ||
| 压缩空气接口 | Φ8 管连接 | ||
| 维护周期 | 100,000 | ||
| 安装角度 | 无限制 | ||
| 主要部件材料 | 阀体 AC4CH-T6, 密封板 AC4CH-T6 | ||
| 密封材料 | 真空侧 FPM | ||
| 油 | Z300 | ||
| 重量 | 98kg | 155kg | |
| 法兰间距 | 150mm | 170mm | |
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