ULVAC

VAN CHÂN KHÔNG PENDULUM DÒNG VFR

Van chân không của ULVAC được phát triển dựa trên nhiều công nghệ và kinh nghiệm trong lĩnh vực chân không. Chúng tôi cung cấp nhiều loại sản phẩm đáp ứng nhiều nhu cầu khác nhau từ áp suất khí quyển đến chân không siêu cao.

ĐẶC ĐIỂM

  • Do cơ chế chênh lệch áp suất độc đáo của ULVAC, van con lắc ULVAC VFR giảm thiểu các hạt, mài mòn van và rung động trong điều kiện hoạt động bình thường.
  • Vỏ van được tháo lắp dễ dàng mà không cần tháo van khỏi hệ thống chân không hoặc máy bơm. Sau khi tháo vỏ van, tấm van có thể được tháo ra chỉ cần chọn một bu lông và van sẽ dễ dàng được bảo dưỡng.
  • Các van dòng ULVAC VFR có thể được lắp đặt ở bất kỳ đâu trong hệ thống chân không. Góc quay tự do và lắp đặt linh hoạt (360 độ).

ỨNG DỤNG

  • Hệ thống sản xuất màn hình lớn
  • Hệ thống sản xuất OLED
  • Các hệ thống chân không khác như van chính và van cổng. Vỏ van được tháo lắp dễ dàng mà không cần tháo van khỏi hệ thống chân không hoặc máy bơm. Sau khi tháo vỏ van, tấm van có thể được tháo ra chỉ  cần chọn một bu lông và van sẽ dễ dàng được bảo dưỡng.
  • Các van dòng ULVAC VFR có thể được lắp đặt ở bất kỳ đâu trong hệ thống chân không. Góc quay tự do và lắp đặt linh hoạt (360 độ).

BẢNG TIÊU CHUẨN

ModelVFR-400VFR-500
Common port diameterΦ400mmΦ500mm
Flange specification
(JIS B2290 equivalency)
VF400VF500
Open/close specification2 positions
Open/close operation principlePneumatic
Open/close time8sec12sec
Valve plate sealReverse pressure capable
Open conductance50000L/s90000L/s
Pressure range1.0×10-5Pa~0.12MPa(abs)
Allowable baking temperature
(at stopped)
Valve body : < 120℃
Cylinder : < 80℃
Valve body : < 248F
Cylinder : < 176F
Allowable ambient temperature10 to 80℃
50 to 176F
Allowable Gass temperature10 to 80℃
50 to 176F
Compressed air pressure0.50 to 0.70MPaG
72.5 to 101.5psi
5.0 to 7.0bar
Compressed air supply portΦ8 tube connection
Maintenance cycle100,000
Mouting angleFree
Main parts materialValve body : AC4CH-T6
Seal plate : AC4CH-T6
Seal materialVacuum side:FPM
OilZ300
Weight98kg155kg
Flange to flange dimension150mm170mm