VAN CHÂN KHÔNG PENDULUM DÒNG VFR

ĐẶC ĐIỂM

Do cơ chế chênh lệch áp suất độc đáo của ULVAC, van con lắc ULVAC VFR giảm thiểu các hạt, mài mòn van và rung động trong điều kiện hoạt động bình thường.
Vỏ van được tháo lắp dễ dàng mà không cần tháo van khỏi hệ thống chân không hoặc máy bơm. Sau khi tháo vỏ van, tấm van có thể được tháo ra chỉ cần chọn một bu lông và van sẽ dễ dàng được bảo dưỡng.
Các van dòng ULVAC VFR có thể được lắp đặt ở bất kỳ đâu trong hệ thống chân không. Góc quay tự do và lắp đặt linh hoạt (360 độ).

Hệ thống sản xuất màn hình lớn
Hệ thống sản xuất OLED
Các hệ thống chân không khác như van chính và van cổng. Vỏ van được tháo lắp dễ dàng mà không cần tháo van khỏi hệ thống chân không hoặc máy bơm. Sau khi tháo vỏ van, tấm van có thể được tháo ra chỉ cần chọn một bu lông và van sẽ dễ dàng được bảo dưỡng.

Các van dòng ULVAC VFR có thể được lắp đặt ở bất kỳ đâu trong hệ thống chân không. Góc quay tự do và lắp đặt linh hoạt (360 độ).

Model	VFR-400	VFR-500
Common port diameter	Φ400mm	Φ500mm
Flange specification (JIS B2290 equivalency)	VF400	VF500
Open/close specification	2 positions
Open/close operation principle	Pneumatic
Open/close time	8sec	12sec
Valve plate seal	Reverse pressure capable
Open conductance	50000L/s	90000L/s
Pressure range	1.0×10^-5Pa～0.12MPa(abs)
Allowable baking temperature （at stopped）	Valve body : < 120℃ Cylinder : < 80℃ Valve body : < 248F Cylinder : < 176F
Allowable ambient temperature	10 to 80℃ 50 to 176F
Allowable Gass temperature	10 to 80℃ 50 to 176F
Compressed air pressure	0.50 to 0.70MPaG 72.5 to 101.5psi 5.0 to 7.0bar
Compressed air supply port	Φ8 tube connection
Maintenance cycle	100,000
Mouting angle	Free
Main parts material	Valve body : AC4CH-T6 Seal plate : AC4CH-T6
Seal material	Vacuum side：FPM
Oil	Z300
Weight	98kg	155kg
Flange to flange dimension	150mm	170mm