ULVAC Vietnam Representative Office
VFR 시리즈 펜듈럼 진공 밸브
ULVAC의 진공 밸브는 진공 분야에서 축적된 다양한 기술과 경험을 바탕으로 개발되었습니다. 대기압부터 초고진공까지 다양한 요구 사항에 대응할 수 있도록 폭넓은 제품 라인업을 제공합니다.
특징
- ULVAC VFR 펜듈럼 밸브는 ULVAC의 독자적인 차압 메커니즘을 적용하여, 정상 작동 조건에서 파티클 발생, 밸브 마모 및 진동을 최소화합니다.
- 진공 장비 또는 펌프에서 밸브를 분리하지 않고도 밸브 하우징을 쉽게 탈착할 수 있습니다. 하우징을 분리한 후 볼트 하나만 제거하면 밸브 플레이트를 분리할 수 있어, 유지보수가 간편합니다.
- ULVAC VFR 시리즈 밸브는 진공 시스템 내 어느 위치에도 설치할 수 있습니다. 회전 각도가 자유롭고 360° 유연한 설치가 가능합니다.
적용 분야
- 대형 디스플레이 생산 시스템
- OLED 생산 시스템
- 메인 밸브 및 게이트 밸브와 같은 기타 진공 시스템
밸브 하우징은 진공 시스템이나 펌프에서 밸브를 분리하지 않고도 쉽게 탈착할 수 있습니다. 하우징을 분리한 후 볼트 하나만 제거하면 밸브 플레이트를 분리할 수 있어 유지보수가 간편합니다.
- ULVAC VFR 시리즈 밸브는 진공 시스템 내 어느 위치에도 설치할 수 있습니다. 회전 각도가 자유롭고 360° 유연한 설치가 가능합니다.
사양
| Model | VFR-400 | VFR-500 | |
| Common port diameter | Φ400mm | Φ500mm | |
| Flange specification (JIS B2290 equivalency) | VF400 | VF500 | |
| Open/close specification | 2 positions | ||
| Open/close operation principle | Pneumatic | ||
| Open/close time | 8sec | 12sec | |
| Valve plate seal | Reverse pressure capable | ||
| Open conductance | 50000L/s | 90000L/s | |
| Pressure range | 1.0×10-5Pa～0.12MPa(abs) | ||
| Allowable baking temperature （at stopped） | Valve body : < 120℃ Cylinder : < 80℃ Valve body : < 248F Cylinder : < 176F | ||
| Allowable ambient temperature | 10 to 80℃ 50 to 176F | ||
| Allowable Gass temperature | 10 to 80℃ 50 to 176F | ||
| Compressed air pressure | 0.50 to 0.70MPaG 72.5 to 101.5psi 5.0 to 7.0bar | ||
| Compressed air supply port | Φ8 tube connection | ||
| Maintenance cycle | 100,000 | ||
| Mouting angle | Free | ||
| Main parts material | Valve body : AC4CH-T6 Seal plate : AC4CH-T6 | ||
| Seal material | Vacuum side：FPM | ||
| Oil | Z300 | ||
| Weight | 98kg | 155kg | |
| Flange to flange dimension | 150mm | 170mm | |
