真空阀门 VLB 系列
ULVAC 的真空阀门是基于在真空领域丰富的技术和经验开发的。 我们提供多种产品，可满足从大气压到超高真空的各种需求。
技术参数
| 型号 | VLB-SA |
| 阀板最大允许差压（正压 / 反压） MPa | 0.10 |
| 开启方向最大允许差压（正压 / 反压） MPa | 0.10 |
| 板密封 | O 形圈 |
| 轴封 | O 形圈 |
| 驱动方式 | 单作用气缸 |
| 外漏率*1 Pa・m3/s | ≦1.0E-10 |
| 内漏率*1 Pa・m3/s | ≦1.0E-10 |
| 工作压力范围（绝对压） Pa | 大气压～1.0E-5 ～ 1.0E-5 |
| 工作压力范围（绝对压）*2 ℃ | 阀体1503，驱动70（指示器60） |
| 环境温度 ℃ | 5～70 |
| 流体温度 ℃ | 5～70 |
| 加热/冷却速率 ℃/h | ≦30 |
| 使用环境 | 非腐蚀性 |
| 流体 | 非腐蚀性 |
| 气缸用压缩空气 MPaG | 0.40 ～ 0.60 |
| 保证操作寿命 cycle*4 | 100,000 |
| 安装方向 | 无限制 |
| 位置指示器 | 可选（单独销售） |
| 主要部件材料（真空侧） | SUS304 不锈钢 |
| 主要部件材料（大气侧） | SUS304 不锈钢，铝-6061（阳极氧化铝） |
| 波纹管材料 | ー |
| 密封材料（真空侧） | FKM |
| 润滑脂（真空侧） | 氟润滑脂 |
| 吊装附件 | 无*5 |
| RoHS | 符合 |
*1 泄漏率不包括 O 形圈的渗透。在轴封 O 形圈启闭过程中产生的外漏不在规范范围内。
*2 烘烤过程中请勿开闭阀门。
*3 关于 VLP-MB 和 VLH-MB，阀体在开启状态下的最高烘烤温度为 200℃ (392℉)，在关闭状态下为 150℃ (302℉)。
*4 详情请参阅使用说明书。
*5 VLP-SA350JH 随机附带吊装件（M12 吊环螺栓 2 个）。
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