真空阀门 VLB 系列

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ULVAC 的真空阀门是基于在真空领域丰富的技术和经验开发的。我们提供多种产品，可满足从大气压到超高真空的各种需求。

技术参数

型号	VLB-SA
阀板最大允许差压（正压 / 反压） MPa	0.10
开启方向最大允许差压（正压 / 反压） MPa	0.10
板密封	O 形圈
轴封	O 形圈
驱动方式	单作用气缸
外漏率*¹ Pa・m³/s	≦1.0E-10
内漏率*¹ Pa・m³/s	≦1.0E-10
工作压力范围（绝对压） Pa	大气压～1.0E-5 ～ 1.0E-5
工作压力范围（绝对压）*² ℃	阀体1503，驱动70（指示器60）
环境温度　℃	5～70
流体温度　℃	5～70
加热/冷却速率 ℃/h	≦30
使用环境	非腐蚀性
流体	非腐蚀性
气缸用压缩空气 MPaG	0.40 ～ 0.60
保证操作寿命 cycle*⁴	100,000
安装方向	无限制
位置指示器	可选（单独销售）
主要部件材料（真空侧）	SUS304 不锈钢
主要部件材料（大气侧）	SUS304 不锈钢，铝-6061（阳极氧化铝）
波纹管材料	ー
密封材料（真空侧）	FKM
润滑脂（真空侧）	氟润滑脂
吊装附件	无*5
RoHS	符合

*1 泄漏率不包括 O 形圈的渗透。在轴封 O 形圈启闭过程中产生的外漏不在规范范围内。

*2 烘烤过程中请勿开闭阀门。

*3 关于 VLP-MB 和 VLH-MB，阀体在开启状态下的最高烘烤温度为 200℃ (392℉)，在关闭状态下为 150℃ (302℉)。

*4 详情请参阅使用说明书。

*5 VLP-SA350JH 随机附带吊装件（M12 吊环螺栓 2 个）。