真空卷式镀膜系统

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EWA 系列

IH 加热型卷式镀膜设备，用于金属及氧化物材料沉积。
可配置多种前处理/后处理机构，以优化工艺条件。
可安装多种监控装置，如膜厚监控、阻值监控等。

EWE 系列

RH 加热型蒸发卷式镀膜设备，用于塑料的金属化处理。

SPW 系列

卷式镀膜设备可用于多层膜的制备，例如塑料上的光学膜和金属膜。
通过在腔室之间隔离气氛，可一次性形成多层薄膜。

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