多腔式溅射系统 ENTRONTM-EX W300
ENTRONTM-EX 可将 PVD、CVD、ALD 等多种先进工艺进行组合， 并实现简洁而高可靠性的原位（In-Situ）制程。
特点
- ENTRONTM-EX 是在现有 ENTRONTM-W300/W200 系列基础上开发的最新机型，旨在实现高生产率。
- 最多可配置 8 个工艺腔室（PVD、ALD、CVD 等）和 2 个腔室（除气、冷却）。
- 采用 ULVAC 原创的新型传送机械手，可实现 100 片/小时以上的机械处理能力。
- ENTRONTM-EX S 型（单核心类型）适用于 mini-fab（小型晶圆厂）概念，
ENTRONTM-EX T 型（串联类型）适用于大规模量产，能够灵活满足客户需求。 搭载用于监控和管理设备状态的 ED-PMS 系统，以及非接触式膜厚测量工具 MESEC-BIT。
应用
- 先进半导体制造设备
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