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Home / 产品 / 真空设备 / 离子注入系统 / 中电流离子注入机 SOPHI-200/260
适用于 5~8 英寸晶圆
设备结构紧凑且重量轻
平行离子束性能优异
在能量控制和金属污染方面表现出色
适用于超薄晶圆