干式真空泵 LR/HR/UR 系列
ULVAC 独特的设计理念是利用干式真空泵体内部产生的热量，使 LR/HR/UR 系列干式真空泵即使在最严苛的工艺条件下也能稳定运行。ULVAC 专注于在泵的各个阶段保持极其均匀的高温，使该系列泵成为 CVD（化学气相沉积）和蚀刻工艺的理想选择。
特点
- LR 系列泵适用于负载锁定或 PVD 工艺。HR 系列泵专为 CVD 和蚀刻工艺设计。
- UR 系列泵适用于需要加热泵体、加热气体管线和/或加热排气管线的应用。
- 出色的氦气抽取能力：采用密封电机，确保安全且易于维护。
- 断电保护：泵可承受最长达 1000 毫秒的电源中断。
- 内部组件经过特殊处理，具有高表面硬度和耐腐蚀性，可防止在暴露于腐蚀性气体时发生磨损和腐蚀。
- 泵的数据，包括警告和报警信息，可导出，支持广泛的泵控制功能。
- 可根据要求提供 CE 认证标志。
应用
- 该泵专为 CVD 或干法蚀刻工艺设计。该泵专为 PVD、蒸发或热处理工艺设计。该泵专为处理会产生粉末副产物的工艺气体而设计，例如硅晶体生长炉。
技术参数干式真空泵 LR 系列
| 型号 | LR/HR 60 | LR/HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR/HR 300 | LR/HR 600 | UR 600 | LR/HR 1200 | UR 1200 | ||
| 泵 | DRP | LR/HR 60 | LR/HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR/HR 60 | LR/HR 90 | UR 90 | LR/HR 90 | UR 90 | |
| MBP | － | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||||
| 最大抽气速度 | m3/h | 50Hz | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | 653 | 1012 | 1012 |
| 60Hz | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | |||||||
| L/min | 50Hz | 1030 | 1860 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | 10883 | 16900 | 16867 | |
| 60Hz | 1333 | 2100 | 3950 | 6080 | 11700 | 17500 | |||||||
| 极限压力 | Pa | 5.0 | 0.67 | ||||||||||
| 最大入口压力 | 大气压力 * | ||||||||||||
| 最大吸气压力 | 从 1.0 到大气压力 | ||||||||||||
| 入口直径（CE 型） | VG50 (KF40) | VG80(KF50) | VG100 | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 排气口直径 | KF40 | VG50 | KF40 | ||||||||||
| DRP: 转子叶片表面处理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| MBP: 转子叶片表面处理 | – | – | – | – | – | – | ○ * | ○ * | ○ | ○ * | ○ | ||
| 重量 | kg | 180 | 245 | 335 | 415 | 251 | 371 | 403 | |||||
| 功率 | 三相 | VAC (Hz) | 200（50/60), 220(60) | 180～240/380～440（50/60） | 200（50/60), 220(60) | ||||||||
| 电流 | 在极限压力下 | A | 6.9/7.1 | 11.2 | 18.9 | 20.8 | 23 | 7.0/7.8 | 12.3/12.9 | 16.4 | 13.7/15.4 | 18.9 | |
| 在最大负载下 | A | 7.0/7.3 | 11.8 | 20.6 | 48.5 | 52.5 | 9.6/8.1 | 19.0/13.8 | 17.3 | 24.2/18.9 | 22.4 | ||
| 冷却水供给压力 | MPa | 0.1 to 0.3 | 0.2 to 0.5 | 0.1 to 0.3 | |||||||||
| 冷却水进出口压差 | MPa | ＞0.1 | ＞0.2 | ＞0.1 | |||||||||
| 冷却水流量 | L/min | ＞5.0 | ＞4.0 | ＞5.0 | ＞5.0 | ||||||||
| N2 (氮气) | 供气压力 | MPa | 0.1 ～ 0.5 | ||||||||||
| 调节压力 | MPa | 0.05 ～ 0.1 | |||||||||||
| N2 氮气吹扫 | 轴清扫 | SLM | 5 | ||||||||||
| 气体缓冲器 | SLM | 0～45 | 无 *1 | 0～45 | 0～195 | 0～45 | |||||||
备注:
*下单时请注明电压。
*LR系列泵适用于泵体低温运行；HR系列适用于高温泵体运行；UR系列则适用于超高温泵体运行。
*HR300、HR600、HR1200、UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT 型号应在 200Pa（1.5 Torr）以下运行。
*LR3601-R/TR/TTR 是在高压区域具有改进排气性能的型号。
*〇 = 有 × = 无
*LR300、LR600、LR1200、LR1800 的 MBP 可选择是否进行表面处理。
*此外，可报价带气体缓冲器（Gas Ballast）的泵。请联系我们进行选型与报价。
■消音器（可选项）
| 型号 | 材质 | 表面处理 | 重量 (kg) | 法兰连接 |
| RS-01 | SUS304 | GBB处理 | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | GBB处理 | 8.3 | NW40 |
| RS-03 | SUS304 | 抛光板 | 12.5 | NW50 |
■可接受参数表 – 干式真空泵 LR / HR / UR 系列
| 套件类型 | 协议 | 夹钳 | 外环 | 连接法兰 | 附件支撑杆 |
| RS-01 kitA | LR60,LR90,LR300 | 1 | 1 | – | – |
| RS-01 kitB | LR600,LR1200 | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 kitA | LR180（LR60,LR90,LR300） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 kitB | LR1800（LR600,LR1200） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-03 kitA | LR421(-T) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| RS-03 kitB | LR3601(-T/TT/R/TR/TTR） | 3 | 3 | 1 | 1 |
除了销售 ULVAC 干式真空泵系列（LR/HR/UR），ULVAC 工程师还在越南本地提供这些真空泵的维护与维修服务，全天候 24 小时支持设备故障排查。
如需咨询，请通过热线联系：0988 248 567（Ngoc 先生） 或 0936 155 138（Hao 女士）。
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