BƠM CHÂN KHÔNG KHÔ LR/HR60/90/180/300/600/1200 UR1200
Bơm chân không khô LR/HR60/90/180/300/600/1200 UR1200 ULVAC với phương pháp sử dụng nhiệt được tạo ra từ bên trong thân bơm khô cho phép dòng LR/HR/UR hoạt động ngay cả trong các quy trình nghiêm ngặt nhất. ULVAC đã tập trung nỗ lực thiết kế vào việc duy trì nhiệt độ cao cực kỳ đồng đều trong tất cả các giai đoạn của máy bơm làm cho dòng máy bơm này trở nên tối ưu cho các ứng dụng CVD và ăn mòn.
đặc điểm BƠM CHÂN KHÔNG KHÔ
- Bơm ở nhiệt độ thấp: Máy bơm dòng LR được thiết kế cho quá trình khóa tải hoặc PVD. Trong khi đó, bơm dòng HR được thiết kế cho các quy trình CVD và ăn mòn.
- Máy bơm dòng UR được thiết kế cho các ứng dụng yêu cầu bơm được làm nóng, đường khí đốt nóng và/hoặc đường xả được làm nóng.
- Khả năng bơm Heli tuyệt vời: Động cơ đóng hộp an toàn và dễ bảo trì.
- Bảo vệ khi mất điện: Máy bơm chịu được sự cố ngắt điện trong thời gian lên đến 1000 ms.
- Các thành phần bên trong được xử lý đặc biệt mang lại độ cứng bề mặt và khả năng chống ăn mòn cao. Kết quả là, ngăn ngừa mài mòn các bộ phận bên trong máy bơm khi tiếp xúc với khí ăn mòn.
- Dữ liệu máy bơm bao gồm các cảnh báo và có thể được xuất ra. Kiểm soát bơm mở rộng có sẵn.
- Dấu CE có sẵn: Dấu CE có sẵn theo yêu cầu.
ứng dụng
• Bơm được thiết kế cho các ứng dụng CVD hoặc ăn mòn, các quy trình PVD, bay hơi hoặc xử lý nhiệt/ được thiết kế để xử lý khí quá trình tạo ra bột bởi các sản phẩm như lò nung tinh thể Si.
Bảng tiêu chuẩn
| Model | LR/HR 60 | LR/HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR/HR 300 | LR/HR 600 | UR 600 | LR/HR 1200 | UR 1200 | ||
| Bơm | DRP | LR/HR 60 | LR/HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR/HR 60 | LR/HR 90 | UR 90 | LR/HR 90 | UR 90 | |
| MBP | － | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||||
| Tốc độ bơm tối đa | m3/h | 50Hz | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | 653 | 1012 | 1012 |
| 60Hz | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | |||||||
| L/min | 50Hz | 1030 | 1860 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | 10883 | 16900 | 16867 | |
| 60Hz | 1333 | 2100 | 3950 | 6080 | 11700 | 17500 | |||||||
| Áp suất tối đa | Pa | 5.0 | 0.67 | ||||||||||
| Áp suất đầu hút tối đa | Áp suất khí quyển * | ||||||||||||
| Áp suất đầu xả tối đa | 1.0 tới Áp suất khí quyển | ||||||||||||
| Đường kính đầu hút (loại CE) | VG50 (KF40) | VG80(KF50) | VG100 | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| Đường kính đầu xả | KF40 | VG50 | KF40 | ||||||||||
| DRP: Xử lý bề mặt cánh quạt | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| MBP: Xử lý bề mặt cánh quạt | – | – | – | – | – | – | ○ * | ○ * | ○ | ○ * | ○ | ||
| Trọng lượng | kg | 180 | 245 | 335 | 415 | 251 | 371 | 403 | |||||
| Nguồn điện | 3 Pha | VAC (Hz) | 200（50/60), 220(60) | 180～240/380～440（50/60） | 200（50/60), 220(60) | ||||||||
| Cường độ dòng điện | Ở áp suất tối đa | A | 6.9/7.1 | 11.2 | 18.9 | 20.8 | 23 | 7.0/7.8 | 12.3/12.9 | 16.4 | 13.7/15.4 | 18.9 | |
| Mức tải tối đa | A | 7.0/7.3 | 11.8 | 20.6 | 48.5 | 52.5 | 9.6/8.1 | 19.0/13.8 | 17.3 | 24.2/18.9 | 22.4 | ||
| Áp suất nguồn nước làm mát | MPa | 0.1 to 0.3 | 0.2 to 0.5 | 0.1 to 0.3 | |||||||||
| Áp suất chênh lệch vào ra nước làm mát | MPa | ＞0.1 | ＞0.2 | ＞0.1 | |||||||||
| Lưu lượng dòng chảy nước làm mát | L/min | ＞5.0 | ＞4.0 | ＞5.0 | ＞5.0 | ||||||||
| Khí N2 | Nguồn áp suất | MPa | 0.1 ～ 0.5 | ||||||||||
| Áp suất quy định | MPa | 0.05 ～ 0.1 | |||||||||||
| Lọc khí N2 | Trục lọc | SLM | 5 | ||||||||||
| Chấn lưu khí | SLM | 0～45 | Không có *1 | 0～45 | 0～195 | 0～45 | |||||||
LƯU Ý:
* Vui lòng ghi rõ điện áp tại thời điểm đặt hàng.
* Máy bơm LR được thiết kế cho nhiệt độ hoạt động thấp của thân máy bơm. HR dành cho hoạt động của thân máy bơm ở nhiệt độ cao. Trong khi dòng UR dành cho nhiệt độ thân máy bơm Cực cao.
* Các mẫu HR300, HR600, HR1200, UR600, UR1200, UR1800 và UR3601-TT đều phải hoạt động dưới 200Pa (1,5 Torr).
* LR3601-R / TR / TTR là một mô hình hiệu suất khí thải được cải thiện trong khu vực áp suất cao.
* 〇 = with × = with out * MBP của LR300, LR600, LR1200, LR1800, có thể chọn sự tồn tại của xử lý bề mặt.
* Ngoài ra, có thể báo giá một máy bơm có sử dụng gasballast. Vui lòng liên hệ với chúng tôi để được lựa chọn và báo giá.
■ Bộ giảm thanh (Tuỳ chọn)
| Model | Vật liệu | Xử lý bề mặt | Trọng lượng (kg) | Mặt bích kết nối |
| RS-01 | SUS304 | Xử lý GBB | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | Xử lý GBB | 8.3 | NW40 |
| RS-03 | SUS304 | Tấm đánh bóng | 12.5 | NW50 |
■ Bảng được chấp nhận
| Kiểu Kit | Phù hợp với | Kẹp | Gioăng ngoài | Mặt bích kết nối | Stay |
| RS-01 kitA | LR60,LR90,LR300 | 1 | 1 | – | – |
| RS-01 kitB | LR600,LR1200 | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 kitA | LR180（LR60,LR90,LR300） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 kitB | LR1800（LR600,LR1200） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-03 kitA | LR421(-T) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| RS-03 kitB | LR3601(-T/TT/R/TR/TTR） | 3 | 3 | 1 | 1 |
Follow us
Zalo
Line Add
Contact Us
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam