ULVAC Vietnam Representative Office
涡轮分子泵 UTM-B 系列
这是一种采用陶瓷球轴承的复合涡轮分子泵，具有优异的压缩比。通过控制器一体化实现紧凑设计。出色的高背压性能，使其能够搭配更小的前级泵使用。
特点
- 安装方向无限制 由于安装方向自由，系统设计的自由度很高。
- 板载控制器 将控制器集成到泵体内，可减少布线工作并使抽气系统小型化。
- 高压缩比与高背压 高压缩比使得泵能够在高背压下运行，并可减小其前级泵的规格。
- 三种法兰 入口法兰可从 ISO100-K、ICF152 和 VG100 中选择。
- 洁净的真空环境 泵在运行和停止时碳氢气体的回流更少。
- 低噪音 空载时的噪音水平为 50dB 以下（ISO-100K 法兰）。
- 适用标准 CE 和 NRTL。
应用
- 用于分析设备、研发系统、实验装置等的主要抽气系统
- 用于蒸发器、溅射系统等的主要抽气系统
- 用于抽除低分子气体（如氢气、氦气）的主要抽气系统
技术参数 涡轮分子泵 UTM-B 系列
型号 | UTM300B | |||
| 冷却方式 | 自然风冷 | 强制风冷（风扇） | ||
| 入口法兰 *1 | VG100, ICF152, ISO100-K | |||
| 出口法兰 | KF16 | |||
| 抽速（无防护网时） | N2 | 280 L/s | ||
He | 270 L/s | |||
H2 | 220 L/s | |||
| 极限压力（配合两级前级泵） | 烘烤后 | *2 | 10-8Pa | |
烘烤前 | 10-6Pa | 10-6Pa | ||
| 最大压缩比 | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||
| 氮气入口最大压力 *3, *4, *5 | N2 | 0.06Pa | 0.7Pa | |
| 氮气出口最大压力 *3, *4, *6 | N2 | 100Pa | 1000Pa | |
| 连续运行最大流量 *7 使用 120L/m 前级泵时 | 无气体置换 | N2 | 10sccm | 100sccm |
无气体置换 | Ar | – | 30sccm | |
有气体置换 | – | 40sccm | ||
| 建议前级泵（在抽 10SCCM 时） *8 | >120L/min | |||
| 重量 | VG, ISO / ICF | 6kg / 9kg | 6.3kg / 9.3kg | |
| 转速 | 60000rpm | |||
| 启动时间 (最大至 80) (DC24V. 背压：5Pa 以下). | 3.5 min | |||
| 表面处理 *9 | 无 | |||
| 安装位置 | 任意方向 | |||
| 噪音 *10 | <50dB（A） | |||
| 标准附件 | 各一份使用说明书（英文和日文）、防护网（用于 VG 和 ICF。ISO 法兰的盖子内置于垫圈中）、垫圈（用于入口）、防尘盖（用于入口、出口和连接器）。 | |||
注释 涡轮分子泵 UTM-B 系列
*1 订购时入口法兰可选择 VG100、ICF152 和 ISO100-K。
*2 仅适用于带 ICF 法兰的强制风冷型可进行烘烤。
*3 数值为环境空气温度 25℃ 时的数值。如环境温度发生变化，允许值也会随之改变。
*4 最大出口压力与最大入口压力不能同时满足。
*5 最大入口法兰压力，指可接受连续运行的压力。
*6 当入口端气体流量为 0 mL/min 时，可接受连续运行的最大排气口压力。
*7 数值适用于环境温度为 5~25℃ 时。此外，气体置换应使用氮气，且流量为 0.4 mbarL/sec（25sccm）。
*8 在气体流量增加时，应选择合适的前级泵，以确保排气口压力不低于允许的最大排气口压力。
*9 请勿通入反应性气体、腐蚀性气体及含镓气体。如需使用其他气体，请与我们联系。
*10 此数值依据 ULVAC 针对 ISO 法兰型的标准测定。
除了经销 ULVAC 真空泵系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些真空泵的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 151 138（Hao 女士）。
