溅射离子泵 PST 系列
溅射离子泵用于为各种分析仪器和加速器创造超高真空。ULVAC 的溅射离子泵通过采用新元件并优化磁场设计，以改善在超高真空和极高真空下的抽气特性。
特点
可实现极限压力（10⁻⁹ Pa 级别），ULVAC 使用符合 ISO 标准的测试腔体达成。
惰性气体增强型（AU 型）实现了双倍抽速性能（与 ULVAC 传统泵相比）。
在超高真空下实现高抽速。
能在短时间内抽至超高真空。
在超高真空下具备顶级的抽气特性（排气可保持至超高真空范围）。
应用 溅射离子泵 PST 系列
- 加速器
- 电子显微镜
- 电子描绘装置
- 对振动敏感的精密分析仪
技术参数
| 型号 | PST-030CU | PST-030AU | PST-050CU | PST-050AU | PST-100CX | PST-100AX | |
| 目标气体 | 标准气体 | 惰性气体 | 标准气体 | 惰性气体 | 标准气体 | 惰性气体 | |
| 抽速*（再生抽气速度） | 0.03m3/s (氮气抽速 ) | 0.013m3/s (氩气抽速) | 0.045m3/s (氮气抽速 ) | 0.016m3/s (氩气抽速) | 0.10m3/s (氮气抽速 ) | 0.05m3/s (氩气抽速) | |
| 极限压力 | 10-9Pa | ||||||
| 工作压力 *3 | <8.0×10-3Pa | <5.0 x 10-3Pa | |||||
| 内部容积 | 0.67 X 10-3m3 | 1.3×10-3m3 | 3.3×10-3m3 | ||||
| 元件数量 | CU sell×1 | AU sell×1式 | CU sell×1 | AU sell×1 | CX sell×1 | AX sell×1 | |
| 连接法兰类型 | UFC070 | UFC114 | UFC152 | ||||
| 施加电压 | DC+7.5kV | ||||||
| 加热器功率 | 单相 | 无设定 | AC200V, 300W | AC200V, 320W | |||
| 烘烤温度 | 250℃ | ||||||
| 重量 | 9.5 kg | 12kg | 37kg | ||||
| 尺寸 | W x H x D | 103×183×187 mm | 153×204×241mm | 155×336×340mm | |||
| 使用环境 | 温度 | 5~40℃ | |||||
| 湿度 | 85% 以下（无冷凝） | ||||||
| 泵固定螺栓孔 | 4 点 – M5 深度 10 毫米 | 4 points-M8 Depth 6mm | |||||
| 推荐控制器 | GST-07L-B | ||||||
* 使用 GST-07L 时的数值（溅射离子泵 PST 系列）
| 型号 | PST-110AU | PST-200CXII | PST-200AXII | PST-400CXII | PST-400AXII | |
| 目标气体 | 标准气体 | 标准气体 | 惰性气体 | 标准气体 | 惰性气体 | |
| 抽速*（再生抽气速度） | 0.11m3/s (氮气抽速 ) | 0.2m3/s (氮气抽速 ) | 0.02m3/s (氩气抽速 ) | 0.36m3/s (氮气抽速 ) | 0.19m3/s (氩气抽速 ) | |
| 极限压力 | 10-9Pa | 10-10Pa | ||||
| 工作压力*3 | <4.5×10-3Pa | <3.8×10-3Pa | <3.0×10-3Pa | |||
| 内部容积 | 6.5×10-3m3 | 11×10-3m3 | 14×10-3m3 | |||
| 元件数量 | AU sellx1 | CX sell×2 | AX sell×2 | CX sell×4 | AX sell×4 | |
| 连接法兰类型 | UFC152 | UFC203 | ||||
| 施加电压 | DC+7.5kV | |||||
| 加热器功率 | 单相 | 无设定 | AC200V, 600W | AC200V, 800W | ||
| 烘烤温度 | 250℃ | |||||
| Weight | 36.5kg | 65kg | 124kg | |||
| Dimension | W x H x D | 171×387×293mm | 296×361×376mm | 296×544×376mm | ||
| 使用环境 | 温度 | 5~40℃ | ||||
| 湿度 | 85% 以下（无冷凝） | |||||
| 泵固定螺栓孔 | 4 点-M6 深度 15mm | 4 点-M8 深度 15mm | 6 点-M8 深度 15mm | |||
| 推荐控制器 | GST-07L-B | |||||
* 使用 GST-07L 时的数值
PST 系列控制器
| 型号 | GST-07L-B | |
| 输入规格 | 输入电压、电流 | AC100～115V±10% ・ 50/60Hz～3.0A |
| AC200～240V±10% ・ 50/60Hz～1.5A | ||
| 漏电流 | 6mA以下 | |
| 输入电压切换 | 手动（通过电源内置 DIP 开关操作） | |
| 输出规格 | 额定电压 | DC+7.5kV |
| 输出电流 | 额定电流 | 小于 DC30mA |
| 输出极性 | 正极性 | |
| 输出特性 | 恒压特性 | |
| 显示方式 | 数字显示（7 段 LED） | |
| 显示内容 | 输出电流 | 1µA～30mA（自动选择 mA、µA 两个量程） |
| 输出电压 | 0.0～7.5 kV DC | |
| 压力显示 | 1×10-8～1×10-2 Pa | |
| 1×10-10～1×10-4 mbar | ||
| 压力设定点 | 2 点 | |
| 保护功能 | 错误显示 / 提供多种保护功能 | |
| 高压 (HV) 输出关闭（ERR.0 至 8 灯亮） | ||
| 停电恢复 | 当 HV-ON 开关打开时，支持停电后自动恢复 | |
| 外部控制功能 | 提供多种输入/输出功能（带远程连接器），配备 RS-232C 通信控制 | |
| 监控端子 | 输出与 7 段面板显示成比例的信号，DC 0-10V 满量程 | |
| 允许负载阻抗 100kΩ 以上 | ||
| 远程/本地 | 可在前面控制面板切换 | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 重量 | 本体 | 4.0kg |
| 尺寸 | W×H×D | 200 x 99 x 370 毫米（不含机架安装部件） |
| 环境使用条件 | 温度 | 0 to 40℃ |
| 湿度 | 85% 以下（无冷凝） | |
| 适用标准 | CE, cTUVus | |
抽速曲线
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溅射离子泵 PST 系列 尺寸图
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除了经销 ULVAC 真空泵系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些真空泵的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 151 138（Hao 女士）。
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