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热阴极真空规 AxTRAN 系列
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热阴极真空规 AxTRAN 系列
AxTRAN 是一种热阴极电离真空规,在离子源和离子收集器之间安装了贝塞尔盒型能量过滤器。该设计通过减少由软 X 射线和电子激发脱附 (ESD) 离子引起的残余电流,实现了 0.5×10⁻¹⁰ Pa 的测量分辨率。
特点
可测量从超高真空到极高真空。
Bessel Box 型能量过滤器:
可减少软 X 射线及 ESD 离子等残余电流。
宽范围测量:1×10⁻² ~ 0.5×10⁻¹⁰ Pa。
压力输出:0~10V 对数输出(伪对数输出)/ 每位数 1V 线性输出。
提供 2 个设定点输出。
数字输出(BCD)和串行通信(RS232C):(选配)。
应用
用于高能加速器等真空设备的总压力测量。
用于超高真空或极高真空研究工作的真空设备压力测量。
符合 CE 标准。
技术参数
型号
ISX2
可测量压力范围
5×10
-11
~ 1×10
-2
Pa (3.75×10
-13
~ 7.5×10
-5
Torr, 5×10
-13
~ 1×10
-4
mbar)
测量分辨率
0.5×10
-10
Pa (0.375×10
-12
Torr, 0.5×10
-12
mbar)
显示
数字显示,3 位尾数,2 位指数
脱气
电子激发脱附方式
测量值输出
线性输出 0–10 VDC
伪对数输出 0–10 V(每位 1V 信号)
设定点
2 点
使用温度范围
10 ~ 40?C (50 ~ 104?F)
使用湿度范围
15 ~ 80% (无冷凝)
电源电压
AC85 ~ 240V
外形尺寸 W×D×H
240mm×350mm×99mm
重量
5.3kg
标准附件
AC100V 电源线(带接地的 3P 插头)、说明书
可选件
传感器 X-11
传感器电缆 5/10/20 m
BCD 输出,RS232C/485
兼容传感头
X-11
能量过滤器
贝塞尔盒型
灯丝
Ir・Y
2
O
3
×2
安装法兰
UFC-070
最高烘烤温度
300℃ (572℉),不带传感器电缆