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由真空腔体系统、抽气与排气系统、氦气充注系统、氦气清洗系统、电气控制系统以及氦气检漏系统组成。
由耐压与嗅探式氦气检漏测试、抽气工位、氦气充注工位、氦气回收工位以及主控制柜组成。