Trong các nhà máy đang phải kiểm tra sản phẩm bằng khí Heli bằng tay, ít nhiều cũng có suy nghĩ giá mà có thể tái sử dụng lại khí Heli thì thật tốt. Và thế là Máy nạp & thu hồi khí Heli của Ulvac ra đời.Hệ thống này chủ yếu được sử dụng cho các sản phẩm chứa đầy helium trong khoang bên trong của phôi cần kiểm tra.
HỆ THỐNG KIỂM TRA RÒ RỈ NẠP & THU HỒI KHÍ HELI DÒNG QYH-200 này bao gồm buồng nén, hệ bơm chân không, trạm sạc và thu hồi khí Heli, tủ điều khiển và thiết bị dò rò rỉ. Các chức năng này là tùy chọn theo ứng dụng và hầu hết chúng được sử dụng với đầu dò của thiết bị phát hiện rò rỉ khí Heli.
Đặc điểm
Tỉ lệ thu hồi khí Heli đạt trên 98% => Tái chế được lượng Heli tối đa, chi phí vận hành thấp.
Độ chính xác cao nhất 1 × 10-6Pa · m3 / s
Tìm ra vị trí và kích thước rò rỉ nhanh chóng và chính xác bằng thiết bị dò siêu nhạy
Tùy chỉnh dựa trên sản xuất thực tế , thời gian chu kỳ ngắn và vận hành dễ dàng
Đã bao gồm chức năng thống kê và phân tích dữ liệu trong quá trình kiểm tra