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高能量离子注入机 SOPHI-400

SOPHI-400 HỆ THỐNG CẤY ION
SOPHI-400 是簇式高能量离子注入机,适用于最高 2400 keV 的能量范围。

特点

  • 簇式结构

  • 兼容薄型晶圆

  • 平行离子束

  • 高能量:2400 keV

  • 晶圆尺寸:最大至 200 mm

应用

  • 功率器件制造工艺,IGBT