ULVAC Vietnam Representative Office

MÁY CẤY ION NĂNG LƯỢNG CAO SOPHI-400

Máy cấy ion năng lượng cao SOPHI-400 là dòng máy kiểu cụm, có bộ cấy ion năng lượng cao áp dụng cho 2400 keV.

ĐẶC ĐIỂM

  • Loại cụm
  • Tấm mỏng Tương thích.
  • Chùm song song
  • Năng lượng cao: 2400 keV
  • Kích thước Wafer: lên đến 200mm

ỨNG DỤNG

  • Quy trình sản xuất thiết bị điện, IGBT