Máy cấy ion năng lượng cao SOPHI-400 là dòng máy kiểu cụm, có bộ cấy ion năng lượng cao áp dụng cho 2400 keV.
Tấm mỏng Tương thích.
Chùm song song
Năng lượng cao: 2400 keV
Kích thước Wafer: lên đến 200mm
Quy trình sản xuất thiết bị điện, IGBT
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
Find us on Google map