等离子灰化系统
Gemini-200,300
Gemini 可在同一传送核心上配置多种不同的工艺模块，通过尽可能采用相同的通用部件来减少备品备件，同时在不同模块之间使用相同的操作面板以提升易用性。
这有助于提高先进电子制造工艺的整体效率。
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