ULVAC

HỆ THỐNG ASHING

Hệ thống tro hóa dòng NA

Hệ thống tro hóa dòng NA sáng có thể được sử dụng cho tất cả các kích thước của tấm wafer và tương thích với một loạt các quy trình từ quy trình quan trọng cho wafer thế hệ tiếp theo đến quy trình đóng gói cấp wafer.

Gemini-200,300

Gemini là trang bị nhiều mô-đun quy trình khác nhau trên cùng một lõi chuyển, giúp giảm thiểu phụ tùng thay thế bằng cách sử dụng các bộ phận chung giống nhau nhiều nhất có thể cũng như cải thiện khả năng sử dụng với cùng một bảng điều khiển giữa các mô-đun khác nhau này. Điều này cải thiện hiệu quả hơn nữa cho quá trình sản xuất thiết bị điện tử tiên tiến.