ULVAC Vietnam Representative Office

HỆ THỐNG ASHING LUMINOUS DÒNG NA

Hệ thống Luminous dòng NA có thể được sử dụng cho tất cả các kích thước của tấm wafer và tương thích với một loạt các quy trình từ quy trình quan trọng cho wafer thế hệ tiếp theo đến quy trình đóng gói cấp wafer.

Đặc điểm

  • Quá trình tách lớp cấy ion liều cao và quá trình loại bỏ polyme ở mức 10E + 16 hoặc cao hơn cần thiết cho quá trình quan trọng đối với các tấm wafer thế hệ tiếp theo có thể được thực hiện miễn phí.
  • Cấu trúc nhà máy được bố trí phù hợp nhất cho quá trình bổ sung khí dựa trên F và có thể xử lý không có hạt. Do đó, nó phù hợp để xây dựng một loạt các quy trình từ PR bình thường đến quy trình tách lớp cấy ion liều cao, màng hữu cơ (như PI và DFR) bóc tách và ăn mòn màng oxy hóa.
  • Một hệ thống xây dựng đơn giản được thông qua, đồng thời đạt được “khả năng bảo trì và độ tin cậy tuyệt vời” và “chi phí thấp”.
  • Có thể xây dựng hệ thống linh hoạt (sóng μ, RIE, và sóng μ + RIE), cho phép nhiều lựa chọn kênh truyền.
  • Kích thước wafer có thể được chuyển đổi đơn giản bằng cách thay đổi cài đặt công thức, đạt được sự thay đổi kích thước wafer rất dễ dàng.

ứng dụng

  • Quy trình tách lớp cấy ion liều cao (10E + 16 hoặc cao hơn) và loại bỏ polyme trong quy trình kết thúc trước
  • Quy trình Wafer yêu cầu quy trình bổ sung CF-4 (các bộ phận điện tử và đèn LED)
  • Gói kích thước chip và quy trình va chạm
  • Quy trình sản xuất bộ lọc màu CCD

bảng tiêu chuẩn

ModelWafer Size
Luminous NA-8000100mm, 125mm, 150mm and 200mm
Luminous NA-1300200mm and 300mm