工艺气体监测器（RGA）
“Qulee” 是 ULVAC 最新款的残余气体分析与监测设备。 ULVAC Qulee 即使在高压（1Pa）条件下，也能实现高分辨率和高精度的测量。 今天就选择这款操作简便的 Qulee 吧。
特点
适用于各种溅射系统的过程监控
无需差动抽气系统（在 1Pa (7.5×10⁻³ Torr / 1×10⁻² mbar) 以下）
集成显示：无需电脑
简易操作：“一键式” 功能
高温烘烤：最高 120℃（248℉），移除传感器时可达 250℃（482℉）
电子轰击脱气
离子源与二次电子倍增器保护与维护辅助功能
分析管可追溯性（专利申请中）
多种漏气测试可用：氦气检漏、空气检漏、积累检漏
可进行总压测量（电离规方式）
配备 Qulee QCS 软件：随附软件，兼容 Windows 8/10
配备 QIP（快速安装包系统）：自动测量套件（详情请参阅选件目录）
符合 CE 认证
应用
- 光伏、平板显示和半导体系统的过程监控
- PVD 系统中的残余气体分析
- PVD 系统中的杂质（H₂O 等）控制
- 用于检漏
技术参数
| 型号 | CGM2-051 | CGM2-052 |
| 质量过滤器类型 | 四极杆 | |
| 质量范围 | 1 ~ 50 amu | |
| 分辨率 | M/ΔM=1M (10% P.H.) | |
| 检测器类型 | 法拉第杯 (FC) | 电子倍增管 (SEM) / 法拉第杯 (FC) |
| 灵敏度 | 10?? A/Pa | SEM:10?? A/Pa |
| 1.33×10?? A/Torr | SEM:1.33×10?? A/Torr | |
| 10?? A/mbar | SEM:10?? A/mbar | |
| 最小可检测分压 | 1×10?? Pa | SEM:1×10-10 Pa |
| 7.5×10-10 Torr | SEM:7.5×10-13 Torr | |
| 1×10?? mbar | SEM:1×10-12 mbar | |
| 最大工作压力 | FC:2 Pa | FC:2, SEM:1×10?? Pa |
| FC:1.5×10?? Torr | FC:1.5×10?? SEM:7.5×10?? Torr | |
| FC:2×10?? mbar | FC:2×10?? SEM:1×10?? mbar | |
| 线性度 | 1Pa | |
| 7.5×10?? Torr | ||
| 1×10?? mbar | ||
| 灯丝 | lr/Y?O? | |
| 电离电压 | 40eV | |
| 发射电流 | 0.1mA/0.4mA | |
| 脱气 | 电子轰击型 300V,5mA | |
| 总压测量功能 | 适用 | |
| 一键式功能 | 适用 / He / H₂ / O₂ / N₂ / O₃ / 任意气体 | |
| 一键式检漏功能 | 适用 | |
| 电源输入 | DC24V ±10% 50W | |
| 重量（传感器单元/传感器） | 2.1kg/0.44kg | 2.2kg/0.44kg |
| 传感器最大工作温度 | 120℃(248?) | |
最大烘烤温度（电子部件移除时） | 250℃(482?) | |
| 工作温度范围 | 10 ~ 40℃ (50 ~ 104?) | |
| 工作湿度范围 | 15 ~ 80% （不冷凝） | |
| 防护等级 (IP) | IP30（传感器单元） | |
| 电源连接器 | MSTB2.5/3-STF-5.08 | |
| 通信接口 | RS232C/RS485 （可选项） | |
| 外部输入/输出连接器 | D-sub15 针（M2.6 螺钉） | |
| 通信连接器 | RJ-45 | |
| 外部输入/输出信号 | 模拟输入 (0～10V) ×2,外部联锁输入（压力保护）×1,分压设定点输出 ×2（故障、报警）,总压设定点输出 ×1 | |
| 软件 | Qulee QCS Ver. 4.0 及以上版本（Windows 8/10） | |
| 标准附件 | 电源连接器、通讯电缆（3m）、软件（安装光盘）、说明书（清洁纸） | |
可选附件 (Cf. Qulee optional catalogue) | QIP（自动测量套装规格）、通讯电缆（5m、10m、15m）、AC 电源适配器、USB-LAN 转换器、交换集线器（8 口或 16 口）、输入/输出连接器、夹克式加热器、携带箱 | |
| 适用标准 | CE | |
※ 当电脑没有 RS232C 接口时，请购买可选的 USB/RS232C 微型转换器。
※ 请自备 AC/DC 电源，或购买可选的 AC/DC 适配器。
特点
出色的性价比 , 适用于 RGA 应用
通讯接口, 支持以太网
- 集成显示
无需电脑 - 操作简单
“一键”功能 - 烘烤功能
最高 120℃ (248℉) 高温烘烤（移除传感器时可达 250℃ (482℉)） - 脱气功能
电子轰击脱气 - 保护与维护功能
离子源和二次电子倍增器保护维护辅助功能 - 多种泄漏测试可用
氦气检漏、空气检漏、升压检漏 - 全压测量
可进行全压测量 - 包含 Qulee QCS
此软件已包含并兼容 Windows 7/8/10 - 适用标准
符合 CE
应用
有机电致发光的残余气体分析
光伏 (PV)、平板显示器 (FPD) 和半导体制造系统的残余气体监测
PVD 系统与真空蒸镀中的残余气体分析
高真空抽气设备等的残余气体分析
冷冻干燥系统的残余气体分析
各类气体分析，适用于研发领域
技术参数
分辨率 M/△M=1M(10% P.H.)
| 型号 | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| 质量过滤器类型 | 四极杆 | |||
| 质量范围 | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～100 amu | 1～200 amu |
| 检测器类型 | 法拉第杯 | 电子倍增管 法拉第杯 | ||
| 灵敏度 | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| 最小可检测分压 | 10-8Pa | 10-12Pa | ||
| 最大工作压力 | 1x10-2Pa | |||
| 总压测量功能 | 可用/10-2 ～ 10-5Pa | |||
| 一键式功能 | 可用 /He/H2O/N2/O2/任意气体 | |||
| 一键式检漏功能 | 可用 | |||
| 电源输入 | DC24V±10％ 50W | |||
| 传感器最大工作温度 | 120℃ (248?) | |||
| 最大烘烤温度 (移除电子部件时) | 250℃ (482?) | |||
| 工作温度范围 | 10 to 40℃ (50 to 104?) | |||
| 软件 | 软件 Qulee QCS Ver.4.0 以上 (Windows 7/8/10) | |||
| 适用标准 | CE | |||
ULVAC 全新推出的 “Qulee HGM2” 残余气体分析仪系列，具有革命性简便操作。
Qulee HGM2 提供了所有型号中最高的灵敏度：2.5 × 10⁻⁶ A/Pa。
可满足各类研发以及其他真空系统工艺监控的需求。（支持以太网通信）
特点
- 最适合研发应用
提供最高灵敏度 2.5×10⁻⁶ A/Pa (3.3×10⁻⁴ A/Torr, 2.5×10⁻⁴ A/mbar) - 通讯接口：支持以太网
- 集成显示：无需电脑
- 操作简单：“一键”功能
- 烘烤功能：最高 250℃ (482℉)，移除传感器时可达 300℃ (572℉)
- 脱气功能：电子轰击脱气
- 维护：灯丝、离子源和二次电子倍增器易于更换
- 保护与维护功能：为离子源和二次电子倍增器提供保护和维护；分析管可追溯（日本专利号 5016031）
- 提供多种泄漏测试：氦气检漏、空气检漏、升压检漏
- 全压测量：可进行全压测量（电离规）
- 包含 Qulee QCS 软件，兼容 Windows 7/8/10
- 适用标准：符合 CE
应用
- R&D，例如热脱附气体分析
- 超高真空抽气设备等的残余气体分析
- 气体中的微量杂质检测
- 光伏领域的研发
- 有机化合物分析
- 环境测量
技术参数
| 型号 | HGM2-202 | HGM2-302 | ||
| 质量过滤器类型 | 四极杆 | |||
| 质量范围 | 1 ~ 200 amu | 1 ~ 300 amu | ||
| 分辨率 | M/ ΔM=1M(10% P.H.) | |||
| 检测器类型 | 法拉第杯 | SEM | 法拉第杯 | SEM |
| 灵敏度 | 2.5×10?? A/Pa | 4 A/Pa | 2.0×10?? A/Pa | 4 A/Pa |
| 3.3×10?? A/Torr | 533 A/Torr | 3.3×10?? A/Torr | 533 A/Torr | |
| 2.5×10?? A/mbar | 400 A/mbar | 2.5×10?? A/mbar | 400 A/mbar | |
最小可检测分压 | 约 10?? Pa | 约 10-13Pa | 约10?? Pa | 约 10-13Pa |
| 约 7.5×10-12 Torr | 约 7.5×10-16 Torr | 约 7.5×10-12 Torr | 约 7.5×10-16 Torr | |
| 约1×10-11 mbar | 约 1×10-12 mbar | 约1×10-11 mbar | 约 1×10-12 mbar | |
| 最大工作压力 | 1×10??Pa | |||
| 7.5×10?? Torr | ||||
| 1×10?? mbar | ||||
| 灯丝 | lr / Y?O?, 2pcs | |||
| 电离电压 | 25 ~ 70 eV(默认:70eV) | |||
| 发射电流 | 0.1mA/0.5mA/1.0mA(默认:0.5mA) | |||
| 脱气 | 电子轰击型 330V, 5mA | |||
| 总压测量功能 | 可用 / 10?? ~ 10??Pa | |||
| 一键式功能 | 可用/ He/H?O/N?/O?/任意气体 | |||
| 一键式检漏功能 | 可用 | |||
| 电源输入 | DC24V±10% 50W | |||
| 重量（传感器单元/传感器） | 2.4kg/0.81kg | |||
| 传感器最大工作温度 | 250℃(482?) | |||
最大烘烤温度（移除电子部件时） | 300℃(572?) | |||
| 工作温度范围 | 10 to 40℃(50 ~104?) | |||
| 工作湿度范围 | 15 ~ 80%(无结露) | |||
| 防护等级 | IP30(传感器单元) | |||
| 电源连接器 | MSTBV2.5/3-STF-5.08 | |||
| 通信接口 | 兼容以太网 | |||
| 外部输入/输出连接器 | D-sub15-pin (M2.6 螺钉)（可选） | |||
| 通信连接器 | RJ45 | |||
| 外部输入/输出信号 | 模拟输入 (0～10V)×2，外部联锁输入（压力保护）×1，错误输出×1（FIL、SEM、RF、故障），分压设定点输出×2（故障、报警），总压设定点输出×1 | |||
| 软件 | Qulee QCS Ver.4.0 以上 (Windows 7/8/10) | |||
| 标准附件 | 电源连接器、通信电缆 (3m)、软件 (安装光盘)、使用说明书 (光盘) | |||
可选附件 （参见 Qulee 可选附件目录） | 通讯电缆（10、15、20、30、50m）、AC 电源适配器、USB-LAN 转换器、交换集线器（8 口或 16 口）、输入/输出连接器、夹克式加热器、携带箱 | |||
| 适用标准 | CE | |||
※ 请自备 AC/DC 电源，或购买可选的 AC/DC 适配器。
该工艺监控系统已被开发用于多种应用，例如刻蚀、CVD 以及其他反应性气体工艺。
采用 ULVAC 原创的离子源和抽气系统，可实现稳定的测量结果。
采用 ULVAC 原创的离子源和抽气系统，可实现稳定的测量结果。
特点
- 长期稳定的测量结果
- 通讯接口：支持以太网
- 闭合式磁场离子源：
软电离可减少气体解离并提高灵敏度，电离室内的热反应分解与吸附被最小化。 - 工艺腔体与离子源之间的短距离实现快速响应分析。
- 可用的宽压力范围：10⁻⁶ 至 13kPa（可选择喷嘴）。
- 无需电脑
- “一键”功能
最高 120℃ (248℉) 高温烘烤
电子轰击脱气
离子源和二次电子倍增器的保护与维护 - 分析管的可追溯性（专利申请中）
- 可进行多种泄漏测试（氦气检漏、空气检漏、升压检漏）
- 可进行全压测量（外部电离规 GI-M2）
- 包含软件，兼容 Windows 7/8/10
应用
- 用于刻蚀和 CVD 工艺
- 工艺过程中反应性气体监测
- 刻蚀与清洗工艺的终点监测
- 残余气体分析
- 泄漏测试
技术参数
| 型号 | RGM2-202 | RGM2-302 |
| 传感器 | ||
| 质量过滤器类型 | 四极杆 | |
| 质量范围 | 1 ~ 200 amu | 1 ~ 300 amu |
| 分辨率 | M/△M=1M (10%P.H.) | |
| 检测器类型 | SEM/法拉第杯 | |
| 灵敏度 | 1×10-3 A/Pa | |
| 1.33×10?? Torr | ||
| 0.1A/mbar | ||
最小可检测分压 (分析管内) | 1×10-10 Pa | |
| 7.5×10-13 Torr | ||
| 1×10-12 mbar | ||
| 离子源 | 磁场辅助的封闭式离子源 | |
| 灯丝 | Ir/Y₂O₃ 涂层 V 型，1个 | |
| 电离电压 | 20 ~ 70 eV | |
| 发射电流 | 10μA | |
| 直流放大范围 | 1×10-5 to 1×10-12 A | |
| 最大烘烤工作温度 | 120℃ (248?) | |
| 差动抽气系统 | ||
| 气体入口值 | 三种不同进气模式下的导通值 (VPC-070) | |
| 最大采样压力 | 13kPa | |
| 97.5Torr | ||
| 130mbar | ||
| 差动抽气系统 | 带中间接口和气体吹扫口 | |
| 涡轮分子泵 | 67L/s：N? | |
| 前级泵 | DIS090 | |
| 皮拉尼真空计 | SW1-1 | |
| 电离真空计 | GI-M2 | |
| 重量 | 抽气系统：57kg / 控制器：38kg | |
| 辅助供给 | ||
| 电源 | AC100V 15A | |
| 压缩空气 | 干燥氮气：0.4 ~ 0.7MPa (Φ6 快速接头) | |
| 干燥氮气：3×10?? ~ 5.25×10?? Torr (Φ6 快速接头) | ||
| 干燥氮气：4 ~ 7 mbar (Φ6 快速接头) | ||
| 控制单元 | ||
| 一键式功能 | 可用 / He/H2O/N2/O2/任意气体 | |
| 外部 I/O 及其他 | 模拟输入 ×2 (0～10V) | |
| 设定点输出 ×2 (故障、报警) | ||
| 外部联锁 | ||
| Others | ||
| 烘烤加热器 | 胶带加热器 | |
| 支架 | 标准 | |
| 传感器单元 电缆 | 5m | |
| 接口 | 以太网 | |
| 软件 | Qulee QCS Ver.4.0 以上 (Windows 7/8/10) | |
| 可选件 | PC | |
Qulee 的一种变型产品，增加了新的功能以响应客户需求。
通过增加差动抽气单元，Qulee 可实现工艺管理和残余气体分析的测量与分析功能。
通过增加差动抽气单元，Qulee 可实现工艺管理和残余气体分析的测量与分析功能。
特点
- 卓越的性价比
可选配差动抽气单元实现气体分析 - 紧凑设计
采用标准真空单元桌面机 YTP - 集成显示单元设计
无需电脑即可提供可视化数据 - 操作简便
“一键”功能，操作简单，无需复杂步骤 - 大气压力分析
可选择的最大可测压力：3000Pa、500Pa、100Pa、10Pa 和 1Pa
（22.5Torr、3.75Torr、0.75Torr、7.5×10⁻²Torr 和 7.5×10⁻³Torr / 30mbar、5mbar、1mbar、0.1mbar 和 1.0×10⁻²mbar） - 根据应用选择型号
质量数范围 1～100 (BGM2-101/102)、1～200 (BGM2-201/202)、1～300 (HGM2-302) - 低噪音
在极限压力下 ≤43dB(A) - 压力指示
可轻松集成 2 个真空计 - 完整的泄漏测试功能
氦气检漏、空气检漏、升压检漏 - Qulee QCS Ver.4（支持以太网）
附带软件（兼容 Windows 7/8/10）
应用
各类研发用气体分析
PVD 系统加工过程中的气体监测
PVD 系统中的残余气体分析
高真空抽气设备等的残余气体分析
技术参数
| Qulee 主机 | 可选择型号：Qulee BGM2-101/102/201/202，HGM2-302 | |
| 最大采样压力 | 可选择的大气压力：3000 Pa / 500 Pa / 100 Pa / 10 Pa / 1 Pa | |
| 可选择的大气压力：22.5 Torr / 3.75 Torr / 0.75 Torr / 7.5×10⁻² Torr / 7.5×10⁻³ Torr | ||
| 可选择的大气压力：30 mbar / 5 mbar / 1 mbar / 0.1 mbar / 1.0×10⁻² mbar | ||
| 进气方式（500～1Pa 型 / 3.75～7.5×10⁻³ Torr 型 / 5～1.0×10⁻² mbar 型） | 手动波纹管阀・法兰 ICF070 | |
| 大气压类型 | 详细规格请另行联系我们。 | |
抽气单元 桌面型 YTP (YTP70A-D) | 涡轮分子泵 | 抽速 70L/s(N?) |
| 干式泵 | 抽速 20L/min | |
| 极限压力 | 低于 10⁻⁵ Pa（7.5 × 10⁻⁸ Torr，1.0 × 10⁻⁷ mbar）（TMP 烘烤后数值） | |
| 输入电压 | 单相 AC100～240V，300W | |
| 软件 | Qulee QCS Ver.4.0（适用于 Windows 7/8/10） | |
| 选配件 | 电离真空规套件（SH-1、2m 传感器电缆、十字管、螺栓、垫片）、搬运推车、USB-LAN 转换器、交换集线器（8 口或 16 口） | |
关注我们
Zalo
ZALO 0988248567
Line Add
联系我们
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam