电源 DPG 系列
DPG 是用于溅射的 2kW–30kW 直流电源。它们由可靠的元件和电路构成。这些高可靠性的电源经过优化，适用于等离子体负载，其设计凝聚了我们多年在电源应用方面的经验。
DPG-2 / DPG-4 是用于溅射的 2kW / 4kW 直流电源。由于控制精度高，其重复性表现优异。
特点
- 高控制精度
即使在低功率（低于 10％）区域内，也能保持设定值 ±1％ 的高精度。 - 宽范围精度保证
保证从 1％ 到 100％ 的宽范围功率控制。 - 轻量化／节省空间
轻量化、节省空间的设计，具有优异的安装灵活性。 - 无需冷却水
强制风冷设计，无需冷却水。 - 高可靠性
设计中融入了我们作为设备制造商多年积累的经验。
应用
研发用溅射设备
溅射设备的偏压电源
技术参数
| 型号 | DPG-2 | DPG-4 | |
| 输入规格 | 额定输入电压 | AC208V/220V | |
| 输入电压波动范围 | 180 to 242VAC | ||
| 相数、频率 | 三相，50/60Hz | ||
| 输入容量 | 3.5kVA | 6.2kVA | |
| 输出规格 | 最大额定功率 | 2kW | 4Kw |
| 额定电流 | 5A | 10A | |
| 额定电压 | 800V | ||
| 输出极性 | 负极性 | ||
| 异常放电控制 | 通过逆变器停止或共振停止来切断 | ||
| 控制 | 控制方式 | 恒功率控制（P 控制）/ 恒电流控制（I 控制）/ 恒电压控制（V 控制） | |
| 控制精度 | 设定值的 ±1％（在我方规定的电阻值下） | ||
| 控制补偿范围 | 恒功率控制，额定功率值的 1～100％ | ||
| 并联运行 | 无 | ||
| 接口 | 模拟/数字，RS-232C 或 RS-485 | ||
| 冷却方式 | 强制风冷 | ||
| 尺寸（W×D×H） | 241mm×610mm×133mm（不含凸出部分） | ||
| 重量 | 15kg | ||
| 适用标准 | CE/SEMI F47/RoHS | ||
环境工作温度 5℃～40℃（无结露）
工作环境：避免阳光直射、热源、粉尘、振动，并且无腐蚀性气体。
DPG-10 / DPG-20 是用于溅射的 10kW / 20kW 直流电源。它们由可靠的元件和电路构成。这些高可靠性的电源经过优化，适用于等离子体负载，其设计凝聚了我们多年在电源应用方面的经验。
特点
- 轻量化／节省空间
轻量化、节省空间的设计，具有优异的安装灵活性。 - 可选输出电压范围
除了 1000V 规格外，还提供 800V 规格机型。 - 完善的弧光处理
具备丰富的弧光控制方法，适用于等离子体工艺。 - 无需冷却水
强制风冷设计，无需冷却水。 - 可配高速弧光切断电路
标准配置即可实现低弧光能量，另可选配高速弧光切断电路。 - 可配灵活的并联运行功能
DPG-10、DPG-20：通过选配的并联运行功能，可将 10kW 和 20kW 机型组合使用，最多可实现 12 台并联运行（最大 240kW）。
应用
平板显示溅射
半导体溅射
触控面板溅射
工业涂层溅射
技术参数
| 型号 | DPG-10-AM | DPG-10H-AM | DPG-10-4AM | DPG-20-AM | DPG-20H-AM | DPG-20-4AM | |
| 输入规格 | 额定输入电压 | 3-Phase 187 to 229VAC | 3-Phase AC342 to 440V | 3-Phase 187 to 229VAC | 3-Phase AC342 to 440V | ||
| 输入容量 | 13.5kVA or less | 25kVA or less | |||||
| 输出规格 | 最大额定功率 | 10kW | 20kW | ||||
| 额定电流 | 25A | 18A | 25A | 50A | 40A | 50A | |
| 额定电压 | -800V | -1000V | -800V | -800V | -1000V | -800V | |
| 点火电压 | -1500V | ||||||
| 异常放电控制 | 当检测到异常放电时，通过逆变器停止或高速灭弧电路*1 切断 | ||||||
| 控制 | 控制方式 | 恒功率控制（P 控制）/ 恒电流控制（I 控制）/ 恒电压控制（V 控制） | |||||
| 控制精度 | 恒功率控制（P 控制）：不超过额定输出的 ±0.5％ 或设定值的 ±1％，取较大者。 恒电流控制（I 控制）：不超过额定输出的 ±1％ 或设定值的 ±2％，取较大者。 恒电压控制（V 控制）：不超过额定输出的 ±1％ 或设定值的 ±2％，取较大者。 | ||||||
| 控制保修范围 | 恒功率控制，额定功率值的 10～100％ | ||||||
| 外部接口 | 模拟/数字，RS-232C 或 485 | ||||||
| 并联运行 | 通过主从通讯最多可控制 12 台 | ||||||
| 冷却方式 | 强制风冷 | ||||||
| 尺寸 W×D×H | 483×630×133mm （不含凸出部分） | ||||||
| 重量 | 29kg | 36kg | |||||
| 适用标准 | CE/ SEMI F47/ RoHS | ||||||
用于溅射的 30 kW 高阻抗规格直流电源
特点
- 通过采用可选的高速灭弧电路，实现极低的弧能量。
这有助于提高生产效率并改善制造良率。 - 在高阻抗负载下可输出 1200V。
- 支持 EtherCAT 通讯。
应用
用于平板显示器的溅射设备
用于半导体的溅射设备
用于触控面板的溅射装置
用于工业涂层的溅射设备
技术参数
| 型号 | DPG-30H-44E | |
| 输入规格 | 输入电压 | 3 phase AC 396 to 484V |
| 输入容量 | 41.5kVA or less | |
| 输出规格 | 额定功率 | 30kW |
| 额定电流 | 55A | |
| 额定电压 | -1200V | |
| 点火电压 | -1500V | |
| 异常放电控制 | 当检测到异常放电时，通过逆变器停止或高速灭弧电路切断 | |
| 控制 | 控制方式 | 额定功率控制（P 控制） 额定电流控制（I 控制） 额定电压控制（V 控制） |
| 控制精度 | P 控制：小于额定输出的 ±0.5％ 或设定值的 ±1％，取较大者。 I 控制：小于额定输出的 ±1％ 或设定值的 ±2％，取较大者。 V 控制：小于额定输出的 ±1％ 或设定值的 ±2％，取较大者。 | |
| 控制保证范围 | 额定功率值的 10～100％ | |
| 外部接口 | RS-232C 或 485，EtherCAT | |
| 并联运行 | 最多可达 12 台 | |
| 冷却方式 | 强制风冷 | |
| 尺寸W×D×H | 483×650×177mm （不含凸出部分） | |
| 重量 | 45kg | |
| 适用标准 | CE/ SEMI F47/ RoHS | |
除了经销 ULVAC 电源系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些电源的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 155 1138（Hao 女士）。
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