低温泵 U 系列
CRYO-U 系列是一种采用两级 GM 制冷机的低温泵，能够实现高真空抽气。根据不同应用需求（包括 FPD、半导体、电子设备、光学以及研发），提供从小型到大型的多种产品。
特点
适用于 4 英寸低温泵的卓越抽气性能
高抽速提高了抽气效率和生产率
非常适合用于半导体制造的溅射工艺或其他小型设备
一台压缩机最多可驱动四台低温泵
可根据您的需求提供定制设计
技术参数 低温泵 U 系列
| 型号 | U4H | U6H | U8H / U8H-U | U8HL | U10H | U12H | U12HL | ||
| 抽速(20 摄氏度) | 氮气 | L/s | 450 | 750 | 1,700 | 1,500 | 2,400 | 4,000 | 4,000 |
| 氢气 | 500 | 1,100 | 2,700 | 2,200 | 3,600 | 6,000 | 6,800 | ||
| 氩气 | 370 | 620 | 1,400 | 1,200 | 2,000 | 3,300 | 3,300 | ||
| 水蒸气 | 1,100 | 2100 | 4,000 | 4,000 | 6,900 | 9,500 | 9,500 | ||
| 极限压力 | Pa | 10-7 | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | |
| 最大吞吐量 | 氩气 | Pa・L/s | 1.3×103 | 1.1×103(7.9) | 1.2×103(8.9) | 1.2×103(8.9) | 8.0×102(6.0) | 2.0×103(15) | 2.0×103(15) |
| 抽气能力 | 氩气 | Pa・L | 1.0×107 | 1.1×102(0.8) | 2.4×102(1.8) | 1.6×102(1.2) | 1.5×102(1.1) | 4.1×102(3.1) | 4.1×102(3.1) |
| 氢气 | 1.5×105 | 5.6×107(4.2×105) | 1.0×108(7.6×105) | 1.6×108(1.2×106) | 1.0×108(7.8×105) | 2.1×108(1.6×106) | 3.1×108(2.3×106) | ||
| 降温时间 | min(50/60Hz) | 45/50 | 3.1×105(2.3×103) | 1.0×106(7.6×103) | 1.2×106(9.0×103) | 6.7×105(5.0×103) | 9.8×105(7.4×103) | 9.8×105(7.4×103) | |
| 低温泵重量 | Kg | 14.5 | 19 | 20.8 | 20 | 29 | 40 | 40 | |
| 型号 | U16 | U16P | U20P | U20H | U22H | U22P | U22WB | U30H | ||
| 抽速(20 摄氏度) | 氮气 | L/s | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 17,000 | 11,500 | 13,000 | 28,000 |
| 氢气 | 10,000 | 10,000 | 18,000 | 18,000 | 25,000 | 14,000 | 16,500 | 43,000 | ||
| 氩气 | 4,200 | 4,200 | 8,400 | 8,400 | 14,000 | 9,700 | 11,000 | 23,000 | ||
| 水蒸气 | 16,000 | 16,000 | 29,000 | 29,000 | 39,000 | 39,000 | 39,000 | 70,000 | ||
| 极限压力 | Pa | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | |
| 最大吞吐量 | 氩气 | Pa・L/s | 1.4×103(11.0) | 1.6×103(12) | 1.1×103(8.7) | 1.7×103(12.8) | 4.1×103(31) | 1.7×103(12.8) | 3.5×103(26) | 2.7×103(20) |
| 抽气能力 | 氩气 | Pa・L | 4.1×102(3.1) | 4.5×102(3.4) | 5.0×102(3.7) | 5.0×102(3.7) | 1.3×103(9.6) | 5.0×102(3.7) | 1.3×103(9.6) | 7.4×102(5.6) |
| 氢气 | 4.3×108(3.3×106) | 4.3×108(3.3×106) | 5.8×108(4.4×106) | 5.8×108(4.4×106) | 8.1×108(6.1×106) | 5.8×108(4.4×106) | 8.1×108(6.1×106) | 7.8×108(5.9×106) | ||
| 降温时间 | min(50/60Hz) | 2.4×106(1.8×104) | 2.4×106(1.8×104) | 4.6×106(3.4×104) | 4.6×106(3.4×104) | 8.5×106(6.4×104) | 6.0×106(4.5×104) | 8.5×106(6.4×104) | 1.5×107(1.1×105) | |
| 低温泵重量 | Kg | 61 | 61 | 69 | 72 | 125 | 115 | 125 | 175 | |
*保养周期：每 16,000 小时
除了经销 ULVAC 真空泵系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些真空泵的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 155 1138（Hao 女士）。
关注我们
Zalo
ZALO 0988248567
Line Add
联系我们
ULVAC Vietnam Representative Office
29/11/100 Le Duc Tho Street, Ward 7, Go Vap District Ho Chi Minh City, Vietnam
5/5/42 Thanh Binh Street, Hai Duong Province, Vietnam