ULVAC

BƠM CRYO DÒNG U

Dòng CRYO-U là thiết bị làm lạnh sử dụng bộ làm lạnh GM loại hai giai đoạn và nó có khả năng bơm chân không cao. Một loạt các sản phẩm từ loại nhỏ đến loại lớn có sẵn theo các ứng dụng bao gồm FPD, chất bán dẫn, thiết bị điện tử, quang học và R&D.

Đặc điểm

  • Hiệu suất bơm tuyệt vời cho một thùng đông lạnh 4 inch
  • Tốc độ bơm cao cải thiện hiệu quả và năng suất bơm.
  • Lý tưởng cho quá trình phún xạ của sản xuất chất bán dẫn hoặc các thiết bị quy mô nhỏ khác
  • Có thể chạy tối đa bốn thiết bị bởi một máy nén.
  • Thiết kế tùy chỉnh có sẵn để phù hợp với nhu cầu của bạn.

bảng tiêu chuẩn

Model  U4H    U6HU8H / U8H-UU8HLU10HU12H U12HL
Tốc độ bơm (20 độ)NitrogenL/s4507501,7001,5002,4004,0004,000
Hydrogen5001,1002,7002,2003,6006,0006,800
Argon3706201,4001,2002,0003,3003,300
Water1,10021004,0004,0006,9009,5009,500
Áp suất tối đaPa10-710-7(10-9)10-7(10-9)10-7(10-9)10-7(10-9)10-7(10-9)10-7(10-9)
Thông lượng tối đaArgonPa・L/s1.3×1031.1×103(7.9)1.2×103(8.9)1.2×103(8.9)8.0×102(6.0)2.0×103(15)2.0×103(15)
Công suất bơmArgonPa・L1.0×1071.1×102(0.8)2.4×102(1.8)1.6×102(1.2)1.5×102(1.1)4.1×102(3.1)4.1×102(3.1)
Hydrogen1.5×1055.6×107(4.2×105)1.0×108(7.6×105)1.6×108(1.2×106)1.0×108(7.8×105)2.1×108(1.6×106)3.1×108(2.3×106)
Thời gian hạ nhiệtmin(50/60Hz)45/503.1×105(2.3×103)1.0×106(7.6×103)1.2×106(9.0×103)6.7×105(5.0×103)9.8×105(7.4×103)9.8×105(7.4×103)
Trọng lượng bơm Kg14.51920.820294040

 

Model  U16U16PU20PU20HU22HU22PU22WBU30H
Tốc độ bơm (20 độ)NitrogenL/s5,0005,00010,00010,00017,00011,50013,00028,000
Hydrogen10,00010,00018,00018,00025,00014,00016,50043,000
Argon4,2004,2008,4008,40014,0009,70011,00023,000
Nước16,00016,00029,00029,00039,00039,00039,00070,000
Áp suất tối đaPa10-7(10-9)10-7(10-9)10-7(10-9)10-7(10-9)10-7(10-9)10-7(10-9)10-7(10-9)10-7(10-9)
Thông lượng tối đaArgonPa・L/s1.4×103(11.0)1.6×103(12)1.1×103(8.7)1.7×103(12.8)4.1×103(31)1.7×103(12.8)3.5×103(26)2.7×103(20)
Công suất bơmArgonPa・L4.1×102(3.1)4.5×102(3.4)5.0×102(3.7)5.0×102(3.7)1.3×103(9.6)5.0×102(3.7)1.3×103(9.6)7.4×102(5.6)
Hydrogen4.3×108(3.3×106)4.3×108(3.3×106)5.8×108(4.4×106)5.8×108(4.4×106)8.1×108(6.1×106)5.8×108(4.4×106)8.1×108(6.1×106)7.8×108(5.9×106)
Thời gian hạ nhiệt min(50/60Hz)2.4×106(1.8×104)2.4×106(1.8×104)4.6×106(3.4×104)4.6×106(3.4×104)8.5×106(6.4×104)6.0×106(4.5×104)8.5×106(6.4×104)1.5×107(1.1×105)
Trọng lượng bơmKg61616972125115125175

* Khoảng thời gian bảo dưỡng: 16.000 giờ/lần