BƠM CRYO U-SERIES
Dòng CRYO-U là thiết bị làm lạnh sử dụng bộ làm lạnh GM loại hai giai đoạn và nó có khả năng bơm chân không cao. Một loạt các sản phẩm từ loại nhỏ đến loại lớn có sẵn theo các ứng dụng bao gồm FPD, chất bán dẫn, thiết bị điện tử, quang học và R&D.
Đặc điểm
- Hiệu suất bơm tuyệt vời cho một thùng đông lạnh 4 inch
- Tốc độ bơm cao cải thiện hiệu quả và năng suất bơm ( vacuum pump).
- Lý tưởng cho quá trình phún xạ của sản xuất chất bán dẫn hoặc các thiết bị quy mô nhỏ khác ( ULVAC vacuum equipment)
- Có thể chạy tối đa bốn thiết bị bởi một máy nén.
- Thiết kế tùy chỉnh có sẵn để phù hợp với nhu cầu của bạn.
bảng tiêu chuẩn
| Model | U4H | U6H | U8H / U8H-U | U8HL | U10H | U12H | U12HL | ||
| Tốc độ bơm (20 độ) | Nitrogen | L/s | 450 | 750 | 1,700 | 1,500 | 2,400 | 4,000 | 4,000 |
| Hydrogen | 500 | 1,100 | 2,700 | 2,200 | 3,600 | 6,000 | 6,800 | ||
| Argon | 370 | 620 | 1,400 | 1,200 | 2,000 | 3,300 | 3,300 | ||
| Water | 1,100 | 2100 | 4,000 | 4,000 | 6,900 | 9,500 | 9,500 | ||
| Áp suất tối đa | Pa | 10-7 | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | |
| Thông lượng tối đa | Argon | Pa・L/s | 1.3×103 | 1.1×103(7.9) | 1.2×103(8.9) | 1.2×103(8.9) | 8.0×102(6.0) | 2.0×103(15) | 2.0×103(15) |
| Công suất bơm | Argon | Pa・L | 1.0×107 | 1.1×102(0.8) | 2.4×102(1.8) | 1.6×102(1.2) | 1.5×102(1.1) | 4.1×102(3.1) | 4.1×102(3.1) |
| Hydrogen | 1.5×105 | 5.6×107(4.2×105) | 1.0×108(7.6×105) | 1.6×108(1.2×106) | 1.0×108(7.8×105) | 2.1×108(1.6×106) | 3.1×108(2.3×106) | ||
| Thời gian hạ nhiệt | min(50/60Hz) | 45/50 | 3.1×105(2.3×103) | 1.0×106(7.6×103) | 1.2×106(9.0×103) | 6.7×105(5.0×103) | 9.8×105(7.4×103) | 9.8×105(7.4×103) | |
| Trọng lượng bơm | Kg | 14.5 | 19 | 20.8 | 20 | 29 | 40 | 40 | |
| Model | U16 | U16P | U20P | U20H | U22H | U22P | U22WB | U30H | ||
| Tốc độ bơm (20 độ) | Nitrogen | L/s | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 17,000 | 11,500 | 13,000 | 28,000 |
| Hydrogen | 10,000 | 10,000 | 18,000 | 18,000 | 25,000 | 14,000 | 16,500 | 43,000 | ||
| Argon | 4,200 | 4,200 | 8,400 | 8,400 | 14,000 | 9,700 | 11,000 | 23,000 | ||
| Nước | 16,000 | 16,000 | 29,000 | 29,000 | 39,000 | 39,000 | 39,000 | 70,000 | ||
| Áp suất tối đa | Pa | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | 10-7(10-9) | |
| Thông lượng tối đa | Argon | Pa・L/s | 1.4×103(11.0) | 1.6×103(12) | 1.1×103(8.7) | 1.7×103(12.8) | 4.1×103(31) | 1.7×103(12.8) | 3.5×103(26) | 2.7×103(20) |
| Công suất bơm | Argon | Pa・L | 4.1×102(3.1) | 4.5×102(3.4) | 5.0×102(3.7) | 5.0×102(3.7) | 1.3×103(9.6) | 5.0×102(3.7) | 1.3×103(9.6) | 7.4×102(5.6) |
| Hydrogen | 4.3×108(3.3×106) | 4.3×108(3.3×106) | 5.8×108(4.4×106) | 5.8×108(4.4×106) | 8.1×108(6.1×106) | 5.8×108(4.4×106) | 8.1×108(6.1×106) | 7.8×108(5.9×106) | ||
| Thời gian hạ nhiệt | min(50/60Hz) | 2.4×106(1.8×104) | 2.4×106(1.8×104) | 4.6×106(3.4×104) | 4.6×106(3.4×104) | 8.5×106(6.4×104) | 6.0×106(4.5×104) | 8.5×106(6.4×104) | 1.5×107(1.1×105) | |
| Trọng lượng bơm | Kg | 61 | 61 | 69 | 72 | 125 | 115 | 125 | 175 | |
* Khoảng thời gian bảo dưỡng: 16.000 giờ/lần
