涡轮分子泵 UTM-FW/FH 系列
UTM-FH 和 UTM-FW 系列是采用五轴磁悬浮和数字控制的复合涡轮分子泵，具有高性能、高可靠性和节能等优势。 UTM-FH 系列在氢气压缩比方面得到提升，属于高背压、高压缩型，适用于轻负荷到中等负荷的工艺。 UTM-FW 系列属于宽范围、大流量型，适用于高负荷工艺以及中等至苛刻的工艺条件。
特点
- 由于采用无联轴器系统和免调谐系统，可以自由组合任意电源与泵主体，并且可改变电缆长度。
- 变速系统使抽速在 25% 至 100% 范围内可调。
- 采用优异的防腐蚀表面处理，并可根据需要提供特殊表面处理（如镀镍 + 阳离子电沉积、特殊涂膜、铝阳极氧化）。
- 可选配内部加热系统，用于控制转子温度并减少副反应产物的附着。
- 安全设计采用吸收断裂能量的结构，当泵发生故障时，可降低对真空系统的损害。
应用 涡轮分子泵 UTM-FW/FH 系列
主要用于中等至苛刻工艺的抽气，例如干法刻蚀、CVD 系统等。
技术参数
| 宽范围、大抽速型号 | 高背压、高压缩型号 | 入口法兰尺寸 | 氮气抽速(L/s) *1 *2 |
| – | UTM-6300FH | VG500 | 6300 |
| UTM-3301FW | UTM-3303FH | VG350 | 3300 |
| UTM-2300FW | – | VG300 | 2730 |
| VG250 | 2230 | ||
| ICF305 | 2110 | ||
| UTM-1400FW | – | VG250 | 1490 |
| VG200 | 1360 | ||
| ICF253 | 1300 | ||
| UTM-1001FW | UTM-1001FH | VG200 | 1000 |
| ICF253 | 1000 | ||
| UTM-800FW | UTM-800FH | VG150 | 810 |
| ICF203 | 740 | ||
| UTM-480FW | UTM-480FH | VG150 | 480 |
| ICF203 | 480 | ||
| UTM-350FW | UTM-350FH | VG100 | 350 |
| ICF152 | 330 |
| *1 | 数值按照 JVIS005 标准测量，或基于该标准计算得出。 |
| *2 | 未使用防护网。 |
除了经销 ULVAC 真空泵系列之外，ULVAC 工程师还在越南现场执行这些真空泵的维护与维修，24 小时随时支持设备停机的故障排查。若您需要任何咨询，请致电热线：0988 248 567（Ngoc 先生）或 0936 155 1138（Hao 女士）。
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