高能量离子注入机 SOPHI-400
SOPHI-400 是簇式高能量离子注入机，适用于最高 2400 keV 的能量范围。
特点
簇式结构
兼容薄型晶圆
平行离子束
高能量：2400 keV
晶圆尺寸：最大至 200 mm
应用
- 功率器件制造工艺，IGBT
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