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油回転真空ポンプ GLDシリーズ
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油回転真空ポンプ GLDシリーズ
ULVACのGLDシリーズ小型油回転真空ポンプは、高性能・低振動・低騒音を実現したコンパクト設計の油回転真空ポンプです。 GLDシリーズは、ガスバラストバルブ、油逆流防止機構、大型オイルレベルゲージを標準装備しており、優れた操作性と保守性を実現しています。 また、幅広い電源仕様に対応し、各種国際規格にも適合しています。
特長
二段排気方式を採用し、一段式ポンプよりも高い真空性能を実現。製造現場の高度な要求に対応します。到達圧力は**0.67 Pa(ピラニ真空計測定値)**を達成し、カタログ値と実測値の高い一致性を実現しています。
ULVACの真空ポンプは優れた耐久性を備えており、
Yamaha、Samsung、Intel
をはじめとする世界的なメーカーの生産ラインで採用されています。
低騒音・低振動設計により、騒音を低減。国際基準の研究施設や試験室にも適しています。
停電などによるポンプ停止時には、
油逆流防止機構
によりオイルの真空チャンバーへの逆流を防止します。
強制給油機構
を採用し、安定した排気速度を維持します。
大気圧から直接運転が可能で、補助ポンプを必要とせず、設備コストの削減に貢献します。
KF・NW標準フランジ
を採用しており、各種真空機器との接続が容易です。
24時間連続運転に対応した産業用真空ポンプであり、長時間運転や交替制生産を行う工場に最適です。
オイルミストトラップを標準装備。オイルミストの外部放出を抑制するとともに、オイルをポンプ内へ回収することで、環境負荷の低減とオイル消費量の削減を実現します。
GLDシリーズ小型油回転真空ポンプの用途
化学・科学実験、分析装置およびレーザーシステム
電子顕微鏡用の補助真空ポンプ
半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置
小型真空乾燥装置および真空凍結乾燥装置
空調機器・給湯器などの冷媒ガス充填
研究・実験用小型真空炉の排気
各種材料の真空乾燥
真空熱処理装置用の補助真空ポンプ
100%新品保証
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仕様