ULVAC Vietnam Representative Office
真空蒸着装置 EBAシリーズ
本装置は、2チャンバー構成を採用した真空蒸着装置です。 一方のチャンバーで蒸着処理を行っている間に、もう一方のチャンバーではワークの搬入・セット作業を同時に行うことができます。これにより、従来構成と比較して生産性を約2倍に向上させます。 本装置は、自動車用照明部品や加飾部品において、アルミニウム金属膜および保護用SiOx膜を成膜し、高い反射性能と耐久性を実現します。 また、金属材料をはじめ、PC、BMC、ABSなどの樹脂材料へのアルミニウム真空蒸着にも対応しています。
特長
縦型2ドア構造を採用し、コンパクトな設計を実現しています。
各ドアには6軸または8軸の自転機構を搭載しています。一方のチャンバーで蒸着処理を行っている間に、もう一方のチャンバーでは蒸着済みワークの取り出し、および新しいワークと蒸着材料（アルミニウム）のセットを同時に行うことができます。
PLC制御とタッチパネル式HMIを採用し、全自動運転を実現。操作性に優れています。
高度なプロセス制御システムにより、極めて高品質な成膜を実現し、お客様の厳しい品質要求に対応します。
仕様
