ULVAC Vietnam Representative Office
SH200 시리즈 고온 음극형 진공 게이지
새로운 타입의 프로브인 G-TRAN 시리즈 Multi Ionization Gauge는 다양한 종류의 센서 헤드를 연결할 수 있습니다. 본 제품은 B-A 방식의 이온화 진공 게이지로, 초고진공 영역까지 측정할 수 있습니다. 또한 넓은 측정 범위를 지원하는 콘셉트를 적용하고 낮은 운영 비용을 실현하여, 사용자의 편의성을 더욱 향상시킨 제품입니다.
특징
- ULVAC 독자적인 콘셉트
- 적용 용도에 따라 서로 다른 측정 범위의 센서 헤드를 연결할 수 있습니다.
- 컴팩트한 설계
- 기존 모델 대비 컨트롤러 부피를 약 56% 축소하여 공간 활용성을 높였습니다.
- 세계 최소형급의 컴팩트한 디자인을 실현했습니다.
- 높은 사용 편의성
- PC 또는 Android 기기에 연결하여 설정값 입력, 장비 상태 확인 등의 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다.
- 다양한 통신 방식 지원
- 아날로그 출력 및 시리얼 통신 사양 외에도 EtherCAT 통신 사양을 선택할 수 있습니다.
- 필라멘트 수명 알림 기능
- 필라멘트의 출력 상태를 모니터링하여 이온화 진공 게이지의 수명이 다하기 전에 사전 경고를 제공합니다.
- 넓은 측정 범위
- 옵션 장치인 SWU10-R과 함께 사용할 경우, 대기압부터 초고진공 영역까지 1 × 10⁵ ~ 5 × 10⁻⁸ Pa의 넓은 범위를 측정할 수 있습니다.
- 정밀한 대기압 센서
- 옵션 장치인 SAU를 사용하면 챔버 개방을 위한 대기압 상태를 정확하게 확인할 수 있습니다.
적용 분야
- 반도체 및 전자 부품용 진공 장비의 고진공 영역 공정 제어
- 다수의 처리 챔버를 갖춘 인라인 또는 배치 방식 진공 장비의 최종 압력 확인
- 고진공 및 초고진공 진공 장비의 압력 측정
사양
| Model | SH200-A | SH200-R | HT200-E (scheduled for release) | |
| Type | Analog output type | Serial communication type | EtherCAT communication type | |
| Applicable ionization gauge sensor head | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
| Connectable sensors | Multi ionization gauge SH200: 1 Pirani vacuum gauge sensor unit SWU10-R: 1 (option) Pressure sensro unit SAU: 1 (option) | |||
| Repeatability (N2) | SH200 simple mode: ±2％ | |||
| Sampling time | 60 ms, 5x moving average | |||
| Value output | Output voltage: 0 to 10 VDC, LOG output: 0.75 V/1 decade Pressure conversion equation: V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} | |||
| Update time | 60msec | |||
| Control input signals | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFFOperates with open collector input, negative logic | – | – | |
| Control output signals | Sensor error, Setpoint 1/2/3, Emission valid Watch of electric power of filament Rating: 24VMAX、50mAMAX Saturation voltage:1V | – | – | |
| Communication type | – | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED display | POWER: Power, ERROR LED (Blinking pattern and color change depending on each mode) | |||
| Emission current | 1mA (1×10-3Pa or lower), 10μA (1×10-3Pa or higher) | |||
| Degas Method | Electron bombard type 1mA, 330V | |||
| Maximum pressure of sensor | 2×10+5Pa (1.5 x 10+3 Torr, 2 x 10+3 mbar) (Absolute pressure) ＊Need separate measures as a capacity to resist pressure, such as flange and clamp | |||
| Internal volume of sensor | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) | |||
| Operating temperature range | 10 to 50℃ (50 to 122℉) | |||
| Operating humidity range | 15 to 80% (not condensing) | |||
| Storage temperature | -20 to 65℃ (-4 to 149℉) (At non-energizing, not condensing) | |||
| IP rating | IP30 | |||
| Power supply voltage | DC20 to 28V (Ripple, Noise 1% or less) Lower than 8W | |||
| Input/output connector | D-sub15-pin (M2.6 screw) | |||
| Weight | Sensor unit: approx. 280g, sensor head (M-44/45): 80g, (M-46): 300g | |||
| Dimension W x D x H | 69mm×63mm×90mm (sensor unit only) | |||
| Applicable standard | CE | |||
| Option | Multi Ionization Gauge Sensor head | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) Material of gas contacting sections: Filament 1, 2 -Ir/Y2O3 Other: PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni plating | ||
| Pirani Vacuum Gauge | SWU10-R *Previous model SPU also available | |||
| Pirani Vacuum Gauge Sensor head | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end), SWP-CF16(ICF034) Material of gas contacting sections : Filament-Pt, Other-BS/Ni plating, Ni, Solder | |||
| Pressure switch | SAU(NW16) Material of gas contacting sections : SUS316L | |||
| Unit cable | GUC-200P (for SWU10-R) ：0.5m, 1m, 2m GUC-200A (for SAU) ：0.5m, 1m, 2m | |||
| Display unit | 1CH：ISG1(DC24V) | |||
| Display cable | Cable betweeen SH200 and desiplay unit 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m | |||
| Connector | I/O connector (D-sub15-soket（M2.6mm screw)) | |||
| Others | Test certificate, Calibration certificate | |||
SH200 시리즈는 사용 목적에 따라 3가지 옵션으로 구성할 수 있습니다. Multi Ionization Gauge만 사용하는 싱글 타입, Multi Ionization Gauge와 Pirani Gauge(SWU10-R)를 조합한 듀얼 타입, 그리고 Multi Ionization Gauge, Pirani Gauge(SWU10-R) 및 압력 스위치(SAU)를 조합한 트리플 타입을 제공합니다
| Mode | SH200-A/SH200-R/SH200-E Simple mode | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R Combination mode | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU Triple combination mode |
| Measurable pressure range | 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa | 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa | 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa |
| Accuracy | 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa： ±15% | 5.0×10-8 to 1.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa：±10～±15% 3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa：±20% | 5.0×10-8 to 4.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa：±10～±15% 3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa：±3%F.S.(3.0×10+3Pa･Base temperature: 25℃) |
| Connection image |
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| Measurable pressure range image |
Triple combination can be used when “atmospheric pressure” check required to open chamber. | ||
PC/스마트폰 연결 이미지
“UL-MOBI” 소프트웨어 활용
| For PC | Download from ULVAC’s website “ULVAC SHOWCASE” download center |
| For smartphone | Download from Google Play |
호환 장비
| PC | Windows 10 64 bit or later |
| Smartphone | Android 6 or later, USB TypeC |
IO 및 GND는 전원 GND와 절연되어 있지 않습니다.
