ULVAC Vietnam Representative Office
SH200シリーズ 熱陰極真空計
新型プローブ「G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ」は、異なる種類のセンサーヘッドを接続可能です。 本製品はB-A型イオンゲージを採用しており、超高真空領域の測定が可能です。 広い測定範囲というコンセプトを取り入れ、より使いやすい設計へと改良され、低ランニングコストを実現しています。
特長
- ULVAC独自のコンセプト
用途に応じて、異なる測定範囲のセンサーヘッドを接続可能です。 - コンパクト設計
従来シリーズと比較して大幅な小型化を実現しました。
（コントローラー容積を56％削減）
世界最小クラスのサイズを実現しています。 - 高い操作性
PC／Android端末を接続することで、設定値の変更、装置状態の確認などが可能です。 - 豊富なインターフェース選択
アナログ出力仕様およびシリアル通信仕様に加え、EtherCAT仕様にも対応しています。 - フィラメント寿命通知機能
フィラメント電力を監視することで、イオンゲージの寿命到達前に予防的なアラートを発信できます。 - 広い測定範囲
大気圧から超高真空領域まで測定可能です。
1×10⁵～5×10⁻⁸ Pa
※オプション SWU10-R 使用時 - 高精度大気圧センサー
オプション SAUユニット を使用することで、チャンバー開放時の大気圧確認が可能です。
用途
- 半導体・電子部品向け真空装置の高真空領域におけるプロセス制御
- 複数の処理チャンバーを備えたインライン式・バッチ式真空装置における到達圧力確認
- 高真空・超高真空装置における圧力測定
仕様
| Model | SH200-A | SH200-R | HT200-E (scheduled for release) | |
| Type | Analog output type | Serial communication type | EtherCAT communication type | |
| Applicable ionization gauge sensor head | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
| Connectable sensors | Multi ionization gauge SH200: 1 Pirani vacuum gauge sensor unit SWU10-R: 1 (option) Pressure sensro unit SAU: 1 (option) | |||
| Repeatability (N2) | SH200 simple mode: ±2％ | |||
| Sampling time | 60 ms, 5x moving average | |||
| Value output | Output voltage: 0 to 10 VDC, LOG output: 0.75 V/1 decade Pressure conversion equation: V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} | |||
| Update time | 60msec | |||
| Control input signals | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFFOperates with open collector input, negative logic | – | – | |
| Control output signals | Sensor error, Setpoint 1/2/3, Emission valid Watch of electric power of filament Rating: 24VMAX、50mAMAX Saturation voltage:1V | – | – | |
| Communication type | – | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED display | POWER: Power, ERROR LED (Blinking pattern and color change depending on each mode) | |||
| Emission current | 1mA (1×10-3Pa or lower), 10μA (1×10-3Pa or higher) | |||
| Degas Method | Electron bombard type 1mA, 330V | |||
| Maximum pressure of sensor | 2×10+5Pa (1.5 x 10+3 Torr, 2 x 10+3 mbar) (Absolute pressure) ＊Need separate measures as a capacity to resist pressure, such as flange and clamp | |||
| Internal volume of sensor | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) | |||
| Operating temperature range | 10 to 50℃ (50 to 122℉) | |||
| Operating humidity range | 15 to 80% (not condensing) | |||
| Storage temperature | -20 to 65℃ (-4 to 149℉) (At non-energizing, not condensing) | |||
| IP rating | IP30 | |||
| Power supply voltage | DC20 to 28V (Ripple, Noise 1% or less) Lower than 8W | |||
| Input/output connector | D-sub15-pin (M2.6 screw) | |||
| Weight | Sensor unit: approx. 280g, sensor head (M-44/45): 80g, (M-46): 300g | |||
| Dimension W x D x H | 69mm×63mm×90mm (sensor unit only) | |||
| Applicable standard | CE | |||
| Option | Multi Ionization Gauge Sensor head | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) Material of gas contacting sections: Filament 1, 2 -Ir/Y2O3 Other: PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni plating | ||
| Pirani Vacuum Gauge | SWU10-R *Previous model SPU also available | |||
| Pirani Vacuum Gauge Sensor head | SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end), SWP-CF16(ICF034) Material of gas contacting sections : Filament-Pt, Other-BS/Ni plating, Ni, Solder | |||
| Pressure switch | SAU(NW16) Material of gas contacting sections : SUS316L | |||
| Unit cable | GUC-200P (for SWU10-R) ：0.5m, 1m, 2m GUC-200A (for SAU) ：0.5m, 1m, 2m | |||
| Display unit | 1CH：ISG1(DC24V) | |||
| Display cable | Cable betweeen SH200 and desiplay unit 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m | |||
| Connector | I/O connector (D-sub15-soket（M2.6mm screw)) | |||
| Others | Test certificate, Calibration certificate | |||
SH200シリーズには3種類の構成オプションがあります。
マルチイオンゲージ単体で使用するシンプルモード、マルチイオンゲージとピラニ真空計（SWU10-R）を組み合わせた複合モード、さらにマルチイオンゲージ、ピラニ真空計（SWU10-R）、圧力スイッチ（SAU）を組み合わせた3連モードを選択できます。
| Mode | SH200-A/SH200-R/SH200-E Simple mode | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R Combination mode | SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU Triple combination mode |
| Measurable pressure range | 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa | 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa | 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa |
| Accuracy | 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa： ±15% | 5.0×10-8 to 1.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa：±10～±15% 3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa：±20% | 5.0×10-8 to 4.0×10-1Pa：±15% 4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa：±10～±15% 3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa：±3%F.S.(3.0×10+3Pa･Base temperature: 25℃) |
| Connection image |
|
|
|
| Measurable pressure range image |
Triple combination can be used when “atmospheric pressure” check required to open chamber. | ||
PC／スマートフォン接続イメージ
| For PC | Download from ULVAC’s website “ULVAC SHOWCASE” download center |
| For smartphone | Download from Google Play |
対応機器
| PC | Windows 10 64 bit or later |
| Smartphone | Android 6 or later, USB TypeC |
アナログIOおよびGNDは、電源GNDから絶縁されていません
