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ACS-4000 컴팩트형 스퍼터링 시스템
ACS-4000 컴팩트형 스퍼터링 시스템은 PC 기반의 자동 운전 공정을 통해 다층 박막, 화합물 재료 및 기타 소자의 연구개발(R&D)에 적합한 시스템입니다. 또한 기존 모델보다 대형화된 Φ4인치 기판에 대응할 수 있습니다.
특징
- 챔버 상부에 힌지형 플랜지를 적용하여 유지보수가 용이합니다.
- Φ2인치 LTS 캐소드 3개가 표준 사양으로 탑재되며, 최대 Φ4인치 기판에 대응할 수 있습니다.
- PC 기반의 자동 운전 시스템을 통해 공정 레시피 설정 및 관리가 가능합니다.
- 다층 박막 및 합금 박막 공정에 대응하는 스퍼터링 시스템입니다.
- 컴팩트한 전원 타워 설계를 적용하여 설치 공간을 최소화했습니다.
적용 분야
- MRAM 및 자기 센서 소자
- 전극용 개별 소자의 파일럿 생산
- 신규 소재의 연구개발(R&D)
- 다양한 재료 및 공정의 시험·평가
