ULVAC Vietnam Representative Office

HỆ THỐNG PHÚN XẠ NHỎ GỌN ACS-4000

Hệ thống phún xạ nhỏ gọn có sẵn để nghiên cứu và phát triển màng mỏng nhiều lớp, vật liệu hợp chất hoặc các thiết bị khác, sử dụng quy trình vận hành tự động bằng PC. Ngoài ra, hệ thống có kích thước lớn hơn (đường kính 4 inch) lớn hơn các dòng hiện hữu.

ĐẶC ĐIỂM

  • Dễ dàng bảo trì bằng mặt bích có bản lề trên đỉnh buồng.
  • Đường kính 2 inch. LTS cathode của 3 bộ được trang bị cho thông số kỹ thuật tiêu chuẩn.Chất nền có sẵn cho đường kính 4 inch.
  • Hệ thống được vận hành tự động bởi PC, để đưa ra công thức chế biến.
  • Hệ thống phún xạ cho màng lớp muiti hoặc quá trình màng hợp kim.
  • Không gian để chân được giảm bớt bởi thiết kế tháp điện nhỏ gọn.

ỨNG DỤNG

  • MRAM, thiết bị cảm biến từ tính
  • Sản xuất thí điểm các thiết bị rời cho điện cực
  • Nghiên cứu và phát triển vật liệu mới
  • Vì mục đích trải nghiệm đa dạng