ULVAC Vietnam Representative Office
SCH 시리즈 수평형 스퍼터링 시스템
SCH 시리즈는 투명 전도성 박막 및 기타 금속 박막의 증착을 위한 수평형 스퍼터링 시스템입니다. 또한 태양전지 생산 라인에서 백 버퍼층 및 배리어층과 같은 박막의 증착에도 사용할 수 있습니다.
특징
- 다양한 양산 라인에서 높은 신뢰성을 입증했습니다.
- 기판의 크기 및 수량에 따라 유연하게 대응할 수 있습니다.
- 높은 증착 속도 및 고성능 캐소드 적용
- 다양한 증착 방식에 대응합니다. (Depo-down / Depo-up, DC / AC / RF 스퍼터링)
- 유지보수가 간단하고 용이합니다.
적용 분야
- 투명 전도막, 백 컨택, 전구체 및 태양전지용 버퍼층
