ULVAC

HỆ THỐNG PHÚN XẠ LOẠI NGANG DÒNG SCH

SCH Series là hệ thống phún xạ dòng nằm ngang để mạ các màng dẫn điện trong suốt và các màng kim loại khác. Chúng có thể được sử dụng để lắng đọng các màng như lớp đệm lưng và lớp chắn trong dây chuyền sản xuất pin mặt trời.

ĐẶC ĐIỂM

  • Chứng tỏ độ tin cậy cao trong nhiều dây chuyền sản xuất hàng loạt
  • Tính linh hoạt về kích thước và số lượng chất nền
  • Tốc độ lắng đọng cao & cực âm hiệu suất cao
  • Áp dụng cho nhiều loại metode lắng đọng (Depo-down / Depo-up, DC / AC / RF phún xạ)
  • Bảo trì đơn giản và dễ dàng

ỨNG DỤNG

  • Dẫn điện trong suốt, tiếp xúc ngược, tiền chất, lớp đệm cho pin mặt trời