ULVAC Vietnam Representative Office
NE-5700/NE-7800 생산용 건식 에칭 시스템
비용 효율성이 우수하고 다양한 장비 구성 옵션을 제공하는 대량 생산용 건식 에칭 시스템입니다.
특징
- ICP 챔버 외에도 NLD 플라즈마 에칭 챔버, 애싱 챔버 및 CCP 챔버를 선택적으로 구성 가능
- ULVAC 특허 기술인 STAR 전극과 다양한 온도 제어 기능을 통해 우수한 공정 안정성 및 재현성 확보
- 간단한 유지보수 구조로 다운타임 최소화
- ULVAC 반도체·전자 기술 연구소의 폭넓은 공정 기술을 기반으로 다양한 공정 지원
응용 분야
- 화합물 반도체: LED, LD, RF 소자
- 전력 반도체: IGBT, SiC
- 금속, 유전체, 폴리머 및 게이트 전극 식각
- 강유전체(Ferro) 소재 및 귀금속 식각
- 강자성(Ferro) 소재 식각
