ULVAC Vietnam Representative Office

HỆ THỐNG ETCHING KHÔ CHO SẢN XUẤT NE-5700/NE-7800

Hệ thống etching khô để sản xuất khối lượng lớn với hiệu suất chi phí tốt và nhiều lựa chọn cấu hình công cụ.

đặc điểm

  • Ngoài buồng loại ICP, có thể chọn buồng khắc plasma NLD, buồng tro hóa hoặc buồng CCP.
  • Nhờ có Điện cực STAR (Bằng sáng chế ULVAC) và các chức năng điều khiển nhiệt độ khác nhau, có thể đạt được độ ổn định và lặp lại quá trình tốt.
  • Thời gian chết thấp nhờ cấu trúc bảo trì đơn giản.
  • Hỗ trợ toàn bộ quy trình từ Viện Công nghệ Bán dẫn và Điện tử ULVAC.

ứng dụng

  • Hợp chất bán dẫn (thiết bị LED, LD và RF), Thiết bị nguồn (IGBT, SiC)
  • Khắc kim loại, điện môi, polyme, điện cực cổng
  • Vật liệu điện Ferro, khắc kim loại quý
  • Vật liệu từ tính Ferro khắc