Trong hệ thống chân không công nghiệp, đầu đo chân không (Vacuum Gauge Head) giúp theo dõi và kiểm soát áp suất. Thiết bị này đặc biệt quan trọng trong sản xuất bán dẫn, xử lý nhiệt chân không, PVD, CVD và sputtering.
Tuy nhiên, sau thời gian dài vận hành, Gauge Head có thể bị nhiễm bẩn hoặc suy giảm độ chính xác. Nếu không kiểm tra và thay thế kịp thời, sự cố này có thể ảnh hưởng đến cả quy trình sản xuất.
1. Dấu Hiệu Đầu Đo Chân Không Bị Lỗi
Doanh nghiệp nên kiểm tra Gauge Head khi xuất hiện các dấu hiệu sau:
Giá trị áp suất sai lệch
Giá trị hiển thị có sự khác biệt bất thường so với điều kiện vận hành thực tế. Khi đó, hệ thống có thể không kiểm soát đúng mức chân không yêu cầu.
Tín hiệu đo không ổn định
Màn hình hoặc bộ điều khiển có thể hiển thị áp suất chập chờn. Ngoài ra, giá trị đo có thể dao động bất thường.
Thời gian hút chân không thay đổi
Thời gian evacuation kéo dài hoặc không ổn định cũng là dấu hiệu cần kiểm tra. Tuy nhiên, cần kiểm tra cả Gauge, bơm và đường ống để xác định chính xác nguyên nhân.
Filament bị hỏng
Đối với Ionization Gauge (IG), filament là bộ phận quan trọng trong quá trình đo. Nếu filament bị hỏng hoặc biến dạng, Gauge có thể không hoạt động chính xác.
Gauge Head bị nhiễm bẩn
Dầu, bụi và sản phẩm phụ từ quá trình sản xuất có thể bám vào bên trong Gauge. Vì vậy, dù bên ngoài vẫn sạch, thiết bị vẫn có thể bị ảnh hưởng về độ chính xác.
Đầu đo bẩn
Bên ngoài đầu đo trông sạch sẽ nhưng bên trong có bụi bẩn
Lưu ý: Với Gauge sử dụng filament, cần tuân thủ điều kiện vận hành của nhà sản xuất. Filament hoạt động ở điều kiện áp suất không phù hợp có thể bị hư hỏng.
2. Hậu Quả Khi Không Thay Gauge Head Kịp Thời
Tăng tỷ lệ sản phẩm lỗi (NG)
Trước hết, Gauge đo sai có thể khiến hệ thống kiểm soát áp suất không chính xác. Điều này đặc biệt đáng chú ý với các quy trình yêu cầu kiểm soát vacuum nghiêm ngặt.
Do đó, chất lượng sản phẩm có thể bị ảnh hưởng. Doanh nghiệp cũng có thể phát sinh thêm chi phí kiểm tra và xử lý sản phẩm NG.
Giảm năng suất sản xuất
Bên cạnh chất lượng, Gauge lỗi còn có thể làm tăng thời gian chu kỳ.
Khi hệ thống mất nhiều thời gian để đạt điều kiện vacuum yêu cầu, cycle time tăng và năng suất giảm.
Tăng nguy cơ downtime
Ngoài ra, tín hiệu Gauge không ổn định có thể khiến việc tìm nguyên nhân sự cố mất nhiều thời gian.
Ví dụ, người vận hành có thể kiểm tra bơm và đường ống trước. Sau đó mới phát hiện nguyên nhân nằm ở Gauge Head.
Vì vậy, kiểm tra Gauge sớm giúp rút ngắn thời gian xử lý sự cố và hạn chế unplanned downtime.
Ảnh hưởng đến hệ thống điều khiển
Trong một số hệ thống, tín hiệu áp suất được kết nối với PLC và hệ thống vacuum control.
Do đó, tín hiệu sai có thể ảnh hưởng đến logic điều khiển. Tuy nhiên, mức độ ảnh hưởng phụ thuộc vào thiết kế của từng hệ thống.
3. Khi Nào Nên Thay Đầu Đo Chân Không?
Không nên chờ đến khi Gauge Head mất hoàn toàn tín hiệu mới thay thế.
Doanh nghiệp nên kiểm tra và cân nhắc thay Gauge khi:
- Giá trị áp suất sai lệch bất thường.
- Tín hiệu đo dao động không ổn định.
- Filament bị hỏng.
- Gauge bị nhiễm bẩn nghiêm trọng.
- Thời gian evacuation thay đổi bất thường.
- Gauge phát sinh lỗi lặp lại.
- Thiết bị đã sử dụng trong thời gian dài.
Ngoài ra, nên đưa Gauge Head vào kế hoạch preventive maintenance của hệ thống vacuum.
4. Lựa Chọn Gauge Head Phù Hợp
Mỗi ứng dụng vacuum có yêu cầu khác nhau. Vì vậy, việc lựa chọn Gauge Head cần dựa trên:
- Dải áp suất cần đo.
- Loại khí sử dụng.
- Điều kiện nhiệt độ.
- Mức độ nhiễm bẩn.
- Yêu cầu về độ chính xác.
- Đặc tính của quy trình sản xuất.
Các loại Gauge phổ biến gồm Pirani Gauge (PG) và Ionization Gauge (IG).
Do đó, doanh nghiệp nên lựa chọn đúng loại Gauge cho từng ứng dụng. Đồng thời, việc sử dụng sản phẩm chính hãng giúp đảm bảo độ tin cậy và khả năng tương thích với hệ thống.
Đừng Chờ Gauge Hỏng Mới Thay Thế
Một Gauge Head hoạt động không chính xác có thể ảnh hưởng đến quá trình kiểm soát vacuum. Vì vậy, kiểm tra và thay thế đúng thời điểm là cách hiệu quả để hạn chế rủi ro.
Bạn đang gặp vấn đề với Vacuum Gauge?
Liên hệ ULVAC Vietnam ngay hôm nay để được tư vấn Gauge Head phù hợp với hệ thống của bạn.
