ULVAC Vietnam Representative Office
メカニカルブースターポンプ MBS-053
本製品は、ケーシング内で2つの繭形ローターを互いに逆方向へ同期回転させることにより排気を行うメカニカルブースターポンプです
特長
- 小型ルーツ式メカニカルブースターポンプ。補助ポンプの排気速度が低下する圧力領域において、排気速度を大幅に向上させます。
- DCブラシレスモーターを採用し、負荷に応じて最適な回転速度で運転するため、大気圧からの排気が可能です。
- マグネットカップリング構造の採用により、ポンプ外部へのオイル漏れを防止します。
- ポンプ内部のシールには非接触シールを採用し、機械損失を大幅に低減。（従来機比で消費電力を約60％削減）
- コントロールボックス内部の電源切替により、100V系および200V系の電源に対応します。
用途
- 化学・科学研究、分析装置およびレーザーシステム
- 電子顕微鏡用バックポンプ
- 半導体製造装置、スパッタリング装置、真空蒸着装置
- 真空乾燥装置、凍結乾燥装置
仕様
メカニカルブースターポンプ MBS-053
※1：排気速度は、バックポンプの排気速度によって異なります。
※2：到達圧力は電離真空計による測定値です。到達圧力は、バックポンプの到達圧力によって異なります。
※3：電源プラグおよび電源コードは付属しておりません。
適合規格／対応電圧
| Model | Applicable standard※ | ＣＥ Declartion of confirmity | 1Φ 100～120V | 1Φ 200～240V | 3Φ 200～240V | 3Φ 380～460V |
| MBS-053 | TUV | ● | ● | ● | － | － |
●：標準仕様 ○：オプション －：対象外
認証 ※ cTUV：
cTUV認証は、カナダの安全規格に適合していることを、国際的な第三者認証機関が製品試験および安全認証を実施し、認証した高品質製品です。
注意事項
| 1 | メカニカルブースターポンプは単独では使用できません。必ずバックポンプ（フォアポンプ）と組み合わせてご使用ください。 | |||||||||||
| 2 | 本製品はインライン使用を前提とした設計です。吐出口側フランジを固定し、そのフランジにバックポンプを接続してください。 | |||||||||||
| 3 | 初回運転時および長期間停止後の再起動時は、ポンプオイルからガスが発生する場合があります。バックポンプによるガス抜き（排気）を行ってください。 | |||||||||||
| 4 | 大気圧付近では、排気速度はバックポンプと同等となるため、メカニカルブースター本来の性能は発揮されません。 | |||||||||||
| 5 | ポンプオイルを規定量以上注入すると、オイルがローター室内へ流入するおそれがあります。必ず規定量を守ってください。 | |||||||||||
| 6 | ご使用前に、電源電圧がポンプの設定電圧と一致していることを確認してください。 | |||||||||||
| 7 | 本製品には据付ベースは付属しておりません。フランジ固定で設置してください。 | |||||||||||
| 8 | ポンプ運搬用ハンドルは付属しておりません。 | |||||||||||
| 9 | 電源ケーブルおよびプラグ抜け防止金具はオプション品です。 | |||||||||||
外形寸法図
圧縮比
排気速度曲線（EX）
オプション部品
項目 | 型式 | 備考 |
電源ケーブル | 100-120Vプラグ付き | プラグ抜け防止金具 |
電源ケーブル | 100-120Vプラグなし | プラグ抜け防止金具 |
電源ケーブル | 200-240Vプラグなし | プラグ抜け防止金具 |
電源ケーブル | 200-240Vプラグなし | プラグ抜け防止金具 |
| プラグ抜け防止金具 | 100-120V | 単品 |
| 単品 | ||
電圧変更コネクタ | 100-120V （Red） | 100V仕様用 標準付属品 ※ |
電圧変更コネクタ | 200-240V （Blue） | 100V仕様用 標準付属品 ※ |
真空ポンプオイル | SMR-200 | 70mL、標準付属品 |
※ 電圧変更コネクタは、ポンプ購入時に指定してください。
本製品はインライン使用を前提とした設計です。吐出口側フランジを固定し、そのフランジにバックポンプを接続してください。
