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小型油回転真空ポンプ GCDシリーズ
GCDシリーズは、ダイレクトドライブ方式を採用した油回転真空ポンプで、有毒ガスや腐食性ガスに対する優れた耐食性を備えています。化学・医薬品分野の用途に最適です。 ガス接触部には硬質メッキ処理を施しており、優れた耐久性と耐食性を実現しています。 排気速度50～200 L/minまでの3機種をラインアップし、用途に応じて最適なモデルをお選びいただけます。
特長
- ガス接触部に表面処理を施した、耐薬品仕様の油回転真空ポンプ。
- オイルミストフィルターの接続が可能。
- 低騒音・低振動設計。
- 停電などによるポンプ停止時には、油逆流防止機構によりオイルの真空チャンバーへの逆流を防止。
- 強制給油機構の採用により、安定した排気性能を実現。
- 大気圧からの運転が可能。
- フランジ接続に対応し、装置との接続が容易。内部部品はノックピンにより高精度に位置決めされています。
用途
- 半導体製造プロセス
- 化学工業
- 化学処理後の真空乾燥
- 医薬品製造分野
仕様
