ULVAC Vietnam Representative Office
VLHシリーズ 真空バルブ
ULVACの真空バルブは、真空分野における豊富な技術と経験をもとに開発されています。大気圧から超高真空領域まで、さまざまなニーズに対応する幅広い製品ラインアップを提供しています。
仕様
| Model | VLH-SB |
| Maximum allowable differential pressure on valve plate (Positive pressure/counter pressure) MPa | 0.10 |
| Maximum allowable differential pressure in opening direction (Positive pressure/counter pressure) MPa | 0.10 |
| Plate seal | O-ring |
| Feedthrough | Bellows |
| Actuation | Manual |
| External leak rate*1 Pa・m3/s | ≦1.0E-10 |
| Internal leak rate*1 Pa・m3/s | ≦1.0E-10 |
| Operating pressure range (absolute pressure) Pa | Atm. ～ 1.0E-6 |
| Bakeout temperature (when stopping)*2 ℃ | Body：150*3， actuation：70 |
| Operating ambient temperature ℃ | 5～70 |
| Fluid temperature ℃ | 5～70 |
| Heating & cooling speed ℃/h | ≦30 |
| Operating ambient | Non-corrosive |
| Fluid | Non-corrosive |
| Compressed air to cylinder MPaG | ー |
| Warranted operation cycle*4 | 10,000 |
| Orientation | No limitation |
| Position indicator | ー |
| Material of major parts (Vacuum side) | Stainless steel 304 |
| Material of major parts (Atmosphere side) | Stainless steel 304, Aluminum-6061 (anodized aluminum) |
| Bellows material | Stainless steel 316L |
| Seal material (Vacuum side) | FKM |
| Grease (Vacuum side) | Any grease is not used |
| Attachment for lifting | None*5 |
| RoHS | Complied |
*1：
Oリングからの透過によるリーク量は含みません。また、Oリング軸シール部を通過する場合の開閉動作中の外部リーク量は規定していません。
*2：
加熱中は開閉動作を行わないでください。
*3：
VLH-MB上に搭載されるVLP-MBの場合、バルブ本体の最高加熱温度は、開状態で200℃（392°F）、閉状態で150℃（302°F）です。
*4：
詳細については取扱説明書をご参照ください。
*5：
VLP-SA350JHには吊り上げ用アタッチメントが付属しています（M12アイボルト×2個）。
