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ULVAC Vietnam Representative Office

ISG-1シリーズ ピラニ真空計コントローラ

Đồng hồ đo chân không ISG1
本真空圧力表示器は、G-TRANシリーズおよびCCMシリーズのすべてのセンサに対応しています。システムの状態を迅速かつ容易に確認することができます。

特長

  • G-TRANシリーズおよびCCMシリーズ静電容量式真空計に対応
  • 制御出力信号
    • 3点設定出力対応
  • 電源仕様
    • DC24V電源入力で動作
    • AC100V~240V対応ACアダプタ(オプション)
  • 圧力信号出力
    • 0~10Vリニア出力
  • シリアル通信機能
    • RS-485通信を標準装備
  • 高視認性LED表示
    • 高輝度LEDにより圧力状態を容易に確認可能
  • DIN規格対応
    • コンパクトサイズ(48 × 96 mm)
  • CE規格適合

用途

  • 真空装置(フィールドエミッションディスプレイ(FED)、FPD、半導体、光学分野など)
  • 複数の設定出力(Set Point)が必要な真空システム

仕様

ModelISG1
Connectable sensor units

1 unit

Compatible sensor unit

G-TRAN Series

Atmospheric range pirani gauge SW1 Pirani gauge SP1 / BPR2 Hot cathode gauge BMR2 Cold cathode gauge SC1 Multi ionization gauge SH2 Ceramic capacitance manometer CCMT-D

Display Significand: 2 digit, Exponent: 1 digit digital □.□×10□
ScalePa
RangeDepends on each sensor unit’s pressure range
Update time200ms
Accuracy±2%±1 digit respect to pressure value from measurement unit (CCM series:±4% digit at below 1/10 of full scale)
Data output 

DC 0 to 10V simulatied Log output, Log, linear output *Note: Output differs among each unit

Update time

70ms

Resolution

1mV

Accuracy±10mV respect to pressure value converted to voltage
Sampling time

70ms running average in 5 times

Control input signalOpen collector input, negative logic
Filament lighting signal, Atmosphere pressure adjustment etc.
Set point 1, 2, 3
Control output signalOpen collector output, Negative logic [[rating: 30VMAX、50mAWAX、70mW]
Error signal, Filament lighting signal etc.
Set point 1, 2, 3
Serial communication typeRS-485
LED displayERRORSET-1
DEGSET-2
ZEROSET-3
Power voltage

DC24V±1V Ripple, noise less than 1%

Current consumption2W (Display unit only) *other connected unit’s consumption will be added
Input/output connectorSensor connector: D-sub15-socket (M2.6 screw)
I/O connector: D-sub15-pin (M2.6 screw)

Power supply connector: PHOENIX: MSTB 2, 5/3-STF, 08

Operating temperature range10 to 40?C (50 to 104?F)
Operating humidity range15 to 80% (not condensing)
Weight250g
Dimension W×D×H

DIN 48mm×70mm×96mm (JIS rack size 50mm×70mm×100mm is also available)

AccessoriesPower supply connector: PHOENIX: MSTB 2, 5/3-STF-5, 08 1pc

DIN panel fixture: Fixture brackets 2pc

Instruction manual: Standard paper 1pc

OptionSensor connectors: D-sub15-pin (M2.6 screw) 1pc
I/O connector: D-sub15-socket (M2.6 screw) 1pc
Applicable standardCE