ULVAC Vietnam Representative Office
자동 누설 검사 시스템
QYH-300 시리즈 자동 누설 검사 시스템
구성: 진공 챔버 모듈, 평가 모듈, He 충전 및 회수 모듈, 공압 모듈, 장비 제어 및 전기 모듈, 질량분석형 누설 검지기(He Leak Detector) 등.
헬륨 스니퍼 방식 누설 검사 시스템, 평가 스테이션, 헬륨 충전 스테이션, 헬륨 회수 스테이션 및 제어반으로 구성됩니다.
