ULVAC Vietnam Representative Office
다단 건식 진공 펌프 - RDA 시리즈 부스터 펌프
2개의 로터 축이 펌프 내부에서 회전하여 진공을 형성하는 진공 펌프입니다. 로터의 단면은 3엽형으로 되어 있습니다.
특징
- 건식 진공 펌프 및 오일 진공 펌프와 동등한 성능을 제공합니다.
- 대기압부터 필요한 압력까지 모든 압력 영역에서 운전할 수 있습니다.
- 수증기에 대한 내성이 뛰어납니다.
- 냉각수가 필요하지 않습니다.
- 하나의 모델로 단상 및 삼상 전원 공급을 지원합니다.
- 마찰 접동 부품이 없어 긴 수명을 제공합니다.
응용 분야
- 분석 장비
- 가스 회수 시스템
- 도금 장비
- TMP의 보조 펌프
- 헬륨 누설 검지기
- 반도체 제조 공정
사양
주의사항
1 | 펌프가 분말 또는 제품을 흡입할 경우 고장이 발생할 수 있습니다.<br>흡입구 필터 등을 사용해 주십시오. |
2 | 인체에 유해하거나 폭발성, 인화성 또는 부식성 가스는 흡입하지 마십시오. 흡입할 경우 가스로 인해 고장이 발생하거나 폭발 또는 발화의 위험이 있습니다. |
3 | 본 제품은 공장 내에서만 사용하는 펌프입니다. 비나 물이 튀는 장소 또는 실외에는 설치하지 마십시오. |
