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多级罗茨式干式真空泵 RDA 系列
多级罗茨式干式真空泵型号 RDA-281H、RDA-501H 通过泵体内两个具有三叶截面的平行转子旋转来抽气。
特点 多级罗茨式干式真空泵 RDA 系列
- 实现与干式和油封旋转泵相当的性能。
- 可在从大气压到极限真空的所有压力范围内运行。
- 对水蒸气具有很强的耐受性。
- 无需冷却水。
- 一款机型即可支持单相/三相电源。
- 无滑动部件，使用寿命长。
应用
- 分析设备
- 气体回收系统
- 镀膜设备
- 涡轮分子泵的前级泵
- 氦检漏仪
- 半导体制造工艺
技术参数 多级罗茨式干式真空泵 RDA 系列
注意事项
1 | 如果泵抽入粉末或产品，可能会受到损坏。 请使用入口过滤器等装置。 |
2 | 请勿抽入对人体有害、或具有爆炸性、易燃性或腐蚀性的气体。否则可能因气体导致故障、爆炸或起火。 |
3 | 此泵仅限于室内使用。 请不要将其安装在有雨水、溅水或室外的场所 |
如果您需要更多产品信息，或需要安装或技术咨询，请立即联系 ULVAC。
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