ULVAC Vietnam Representative Office
多段式ドライブースタポンプ RDAシリーズ
ポンプ内部で断面が三葉形状の2本のローターを回転させることにより排気を行う真空ポンプです。
特長
- ドライポンプおよび油回転真空ポンプに匹敵する高い性能を実現。
- 大気圧から到達圧力まで、全圧力領域で運転可能。
- 水蒸気に対して優れた耐性を発揮。
- 冷却水は不要。
- 1機種で単相電源・三相電源の両方に対応。
- 摺動部がないため、長寿命を実現。
用途
- 分析装置
- ガス回収システム
- 真空成膜装置
- ターボ分子ポンプ（TMP）の補助ポンプ
- ヘリウムリークディテクター
- 半導体製造プロセス
仕様
注意
1 | ポンプ内に粉塵や製品などを吸引すると、故障の原因となる可能性があります。必ず吸込口フィルターなどを使用してください。 |
2 | 人体に有害なガス、爆発性・可燃性・腐食性ガスは吸引しないでください。これらのガスを吸引すると、故障、爆発、発火の原因となる恐れがあります。 |
3 | 本製品は屋内専用ポンプです。雨や水しぶきのかかる場所、および屋外には設置しないでください。 |
