ULVAC Vietnam Representative Office
AXTRAN 시리즈 열음극형 진공 게이지
AxTRAN은 이온원과 이온 수집기 사이에 Bessel Box 방식의 에너지 필터가 장착된 열음극형 이온화 진공 게이지입니다. 이 설계를 통해 연 X선(Soft X-ray) 및 전자 자극 탈착(ESD)에 의해 발생하는 잔류 전류를 감소시켜 0.5 × 10⁻¹⁰ Pa의 측정 분해능을 제공합니다.
특징
- 고진공부터 초고진공까지 측정 가능
- Bessel Box 방식의 에너지 필터: 연 X선(Soft X-ray) 및 ESD 이온 등에 의한 잔류 전류를 감소
- 넓은 압력 범위 측정: 1 × 10⁻²~0.5 × 10⁻¹⁰ Pa
- 압력 0~10 V 로그 출력(Pseudo-log 출력) / 각 자릿수별 1 V 선형 출력
- 2개의 출력 설정값(Set Point)
- 디지털 출력(BCD) 및 시리얼 통신(RS232C): 옵션
응용 분야
- 고에너지 가속기와 같은 진공 장비의 전체 압력 측정
- UHV 또는 XHV 연구에 사용되는 고진공 및 초고진공 장비의 압력 측정
- CE 규격 준수
사양
| Model | ISX2 |
| Measurable pressure range | 5×10-11 to 1×10-2 Pa (3.75×10-13 to 7.5×10-5 Torr, 5×10-13 to 1×10-4 mbar) |
| Measurement resolution | 0.5×10-10 Pa (0.375×10-12 Torr, 0.5×10-12 mbar) |
| Display | Digital indication, 3 digit mantissa, 2 digit exponent |
| DEGAS | Electron stumilated desorption式 |
| Measurement value output | Linear output 0 to10 VDC |
| Pseudo-logarithmic output 0 to 10V (1V linear signal in each digit ) | |
| Set points | 2 points |
| Operating temperature range | 10 to 40?C (50 to 104?F) |
| Operating humidity range | 15 to 80％ (not condensing) |
| Power supply voltage | AC85 to 240V |
| External dimensions W×D×H | 240mm×350mm×99mm |
| Weight | 5.3kg |
| Standard accessories | AC100V (3P plug with ground) power cable, Manual |
| Option | Sensor: X-11 |
| Sensor cable: 5, 10, 20m | |
| BCD output, RS232C/485 |
| Compatible sensor head | X-11 |
| Energy filter | Bessel-Box type |
| Filament | Ir・Y2O3×2 |
| Mount flange | UFC-070 |
| Max. baking temperature | 300℃ (572?F) without sensor cable |
