ULVAC Vietnam Representative Office
CCMT-D 시리즈 압력 측정기
CCMT-D 시리즈는 세라믹(알루미나) 다이어프램이 가스 압력 변화에 따라 변형될 때 발생하는 정전용량의 변화를 감지하는 정전용량형 압력 게이지입니다.
특징
- 내식성이 우수한 세라믹 센서
- 장기간 매우 안정적인 신호
- 가스 종류에 관계없이 전체 압력(Total Pressure) 측정 가능
- 기동 시간 단축
- 온도 보상 기능
- 오염 방지 센서
- 푸시 버튼 방식의 영점 조정
- 정확한 선형 출력(DC 0~10 V)
응용 분야
- 진공 소결 또는 진공 열처리 (Vacuum Furnace)
- 박막 증착 시스템
- 감압로
- 가스 교환 또는 가압 공정 등
- FPD 및 PV 제조 장비
사양
| Model | CCMT-D | ||
| Range full scale | CCMT-1000D | 133kPa (1×103 Torr, 1.33×103 mbar) F.S. | |
| CCMT-100D | 13.3kPa (1×102 Torr, 1.33×102 mbar) F.S. | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa (10 Torr, 13.3 mbar) F.S. | ||
| CCMT-1D | 133Pa (1 Torr, 1.33 mbar) F.S. | ||
| Resolution | 0.003% of full scale | ||
| Accuracy *1 | ±0.2％±temperature coefficient relative to display value (The value indicates accuracy zero point adjustment) | ||
| Temperature coefficient | Zero voltage | 0.005% F.S. /?C | |
| Span voltage | 0.01% R /?C | ||
| Operating temperature range | 10 to 50?C (50 to 122?F) | ||
| Response rate | 30ms or less | ||
| Material of gas contacting sections | Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3 , glass ceramics solder, Ag Ti Cu hard solder | ||
| Input power | DC14～30V, 1W | ||
| Output | DC 0 to 10V F.S. | ||
| weight | 329g | ||
| Dimensions | 55mm×117mm | ||
| Temperature compensation | Internal temperature compensation circuit | ||
| Electrical connector | D-sub 15-pin male (No.4-40, DNC screw) | ||
* 1 ：비선형성, 히스테리시스 및 반복성: 주변 온도 25°C(77°F)에서 2시간 작동 후 온도 영향이 없는 조건
* 2 ： 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
* 3 ： 28% Ni, 23% Co, 49% Fe
