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CCMT-Dシリーズ 圧力計
CCMT-Dシリーズは、気体圧力の変化によって変形するアルミナセラミック製ダイアフラムの静電容量変化を検出する静電容量式真空計です。
特長
- 耐腐食性に優れたセラミックセンサ
- 長期間にわたり極めて安定した信号出力
- ガス種に依存しない全圧測定が可能
- 起動時間の短縮
- 温度補償機能
- 汚染防止構造を備えたセンサ
- ゼロ点調整ボタン搭載
- 高精度リニア出力（DC 0～10V）
用途
- 焼結・真空熱処理（Vacuum Furnace）
- 薄膜成膜システム
- 減圧炉
- ガス交換・ガス圧縮装置など
- FPD（フラットパネルディスプレイ）・PV（太陽電池）製造装置
仕様
| Model | CCMT-D | ||
| Range full scale | CCMT-1000D | 133kPa (1×103 Torr, 1.33×103 mbar) F.S. | |
| CCMT-100D | 13.3kPa (1×102 Torr, 1.33×102 mbar) F.S. | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa (10 Torr, 13.3 mbar) F.S. | ||
| CCMT-1D | 133Pa (1 Torr, 1.33 mbar) F.S. | ||
| Resolution | 0.003% of full scale | ||
| Accuracy *1 | ±0.2％±temperature coefficient relative to display value (The value indicates accuracy zero point adjustment) | ||
| Temperature coefficient | Zero voltage | 0.005% F.S. /?C | |
| Span voltage | 0.01% R /?C | ||
| Operating temperature range | 10 to 50?C (50 to 122?F) | ||
| Response rate | 30ms or less | ||
| Material of gas contacting sections | Al2O3、Vacon70 *2、SUS316 *3 , glass ceramics solder, Ag Ti Cu hard solder | ||
| Input power | DC14～30V, 1W | ||
| Output | DC 0 to 10V F.S. | ||
| weight | 329g | ||
| Dimensions | 55mm×117mm | ||
| Temperature compensation | Internal temperature compensation circuit | ||
| Electrical connector | D-sub 15-pin male (No.4-40, DNC screw) | ||
※1： 周囲温度25℃（77°F）、2時間動作後の温度影響を除いた非直線性、ヒステリシス、再現性。
※2： 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe
※3： 28% Ni、23% Co、49% Fe
